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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0003099 (2013-01-10) | |
공개번호 | 10-2014-0091201 (2014-07-21) | |
등록번호 | 10-2051022-0000 (2019-11-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130003099 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-11-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 웨이퍼 픽업 시에 웨이퍼와 풋 사이의 충격력을 저감시킬 수 있는 웨이퍼 핸드링 완드에 관한 것이다.본 발명은 베르누이 원리에 의해 비접촉식으로 웨이퍼를 하면에 픽업(pick-up)하는 몸체(body); 상기 몸체를 전후 방향으로 이송시키는 몸체 이송용 암(body-arm); 상기 몸체의 하측 둘레에 구비되고, 상기 몸체의 하면에 픽업된 웨이퍼의 수평방향 위치를 조절하는 한 쌍의 풋(foot); 상기 풋을 전후 방향으로 이송시키는 풋 이송용 암(foot-arm) 및 상기 몸체 이송용 암과 풋 이송용 암에 구동력을 제공하는
베르누이 원리에 의해 비접촉식으로 웨이퍼를 하면에 픽업(pick-up)하는 몸체(body);상기 몸체를 전후 방향으로 이송시키는 몸체 이송용 암(body-arm);상기 몸체의 하측 둘레에 구비되고, 상기 몸체의 하면에 픽업된 웨이퍼의 수평방향 위치를 조절하는 한 쌍의 풋(foot);상기 풋을 전후 방향으로 이송시키는 풋 이송용 암(foot-arm) 및상기 몸체 이송용 암과 풋 이송용 암에 구동력을 제공하는 구동장치를 포함하고,상기 풋 이송용 암은, 상기 웨이퍼의 픽업 시에 상기 풋들을 상기 웨이퍼의 외주단과 설정 시간 이상 접촉하도
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