초록 ▼

본 발명은 기판에 열을 가하여 박막을 증착시키는데 사용되는 진공 증착기의 기판 가열 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 올려지는 금속판 후면 측에 절연막을 장착시키고 절연막 하부에 박막 히터를 장착시킨 상태 또는 비 금속판 후면 측에 박막 히터를 장착시킨 상태에서 금속 패드를 통하여 박막 히터로 저전력 전원을 공급하여 박막 히터의 발열을 통해 금속판 또는 비 금속판 표면 온도를 순간적으로 가열시키는 방식의 기판 가열 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 기판 증착 가능 온도 도달 시간을 단축할 수 있고 소비 전력을 줄

본 발명은 기판에 열을 가하여 박막을 증착시키는데 사용되는 진공 증착기의 기판 가열 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 올려지는 금속판 후면 측에 절연막을 장착시키고 절연막 하부에 박막 히터를 장착시킨 상태 또는 비 금속판 후면 측에 박막 히터를 장착시킨 상태에서 금속 패드를 통하여 박막 히터로 저전력 전원을 공급하여 박막 히터의 발열을 통해 금속판 또는 비 금속판 표면 온도를 순간적으로 가열시키는 방식의 기판 가열 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 기판 증착 가능 온도 도달 시간을 단축할 수 있고 소비 전력을 줄이는 효과, 진공 증착기가 과열(OVERHEATING)되는 것을 방지하여 기판 손상을 방지하는 효과, 진공 증착기 제조 공정 및 부품을 간소화하는 효과, 온도 상승/하강이 신속히 이루어져 금속판에 의한 열 손실과 시간 손실을 줄이는 효과, 및 진공 증착기의 금속판 교체가 용이하며 소형 진공 증착기를 제조할 수 있도록 하는 효과가 있다.

대표청구항

상부에 장착되어 기판이 놓여지는 금속판(21);상기 금속판 내부의 상단 하측면에 장착되어 상기 금속판을 전기적으로 절연시키고 발생된 열을 상기 금속판으로 전도시키는 절연막(22);상기 절연막의 하부에 박막 형태로 장착되어 외부 전원을 공급받아 상기 자체 전기 저항에 의하여 순간적으로 고온 발열되는 박막 히터(23); 및상기 박막 히터의 일측 및 타측에 장착되어 외부로부터 공급된 전원을 상기 박막 히터로 균일하게 공급하는 금속 패드(24);를 포함하여 구성되는 진공 증착기에서 순간 가열 방식의 기판 가열 장치.

상부에 장착되어 기판이 놓여지는 금속판(21);상기 금속판 내부의 상단 하측면에 장착되어 상기 금속판을 전기적으로 절연시키고 발생된 열을 상기 금속판으로 전도시키는 절연막(22);상기 절연막의 하부에 박막 형태로 장착되어 외부 전원을 공급받아 상기 자체 전기 저항에 의하여 순간적으로 고온 발열되는 박막 히터(23); 및상기 박막 히터의 일측 및 타측에 장착되어 외부로부터 공급된 전원을 상기 박막 히터로 균일하게 공급하는 금속 패드(24);를 포함하여 구성되는 진공 증착기에서 순간 가열 방식의 기판 가열 장치.