초록 ▼

본 발명은 가열된 히터가 열충격에 의해 파손되는 것을 방지함으로써 히터의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 웨이퍼가 전체적으로 동일한 온도로 가열될 수 있도록 하는 박막증착용 히터 및 이 히터가 구비된 박막증착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 박막증착용 히터는 웨이퍼가 배치되는 웨이퍼 지지면을 가지며, 웨이퍼 지지면의 하방에 웨이퍼의 중심 및 그 중심의 부근을 가열하기 위한 중심부 가열소자와, 웨이퍼의 가장자리를 가열하기 위한 가장자리 가열소자가 매설되어 있는 박막증착용 히터에 있어서, 중심부 가열소자와 가장자리 가열소자

본 발명은 가열된 히터가 열충격에 의해 파손되는 것을 방지함으로써 히터의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 웨이퍼가 전체적으로 동일한 온도로 가열될 수 있도록 하는 박막증착용 히터 및 이 히터가 구비된 박막증착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 박막증착용 히터는 웨이퍼가 배치되는 웨이퍼 지지면을 가지며, 웨이퍼 지지면의 하방에 웨이퍼의 중심 및 그 중심의 부근을 가열하기 위한 중심부 가열소자와, 웨이퍼의 가장자리를 가열하기 위한 가장자리 가열소자가 매설되어 있는 박막증착용 히터에 있어서, 중심부 가열소자와 가장자리 가열소자 사이에는, 웨이퍼 지지면에 대해 웨이퍼의 반경방향과 교차하는 방향으로 몰입된 릴리프 홈부가 형성되어 있다.

대표청구항

웨이퍼가 배치되는 웨이퍼 지지면을 가지며, 상기 웨이퍼 지지면의 하방에 상기 웨이퍼의 중심 및 그 중심의 부근을 가열하기 위한 중심부 가열소자와, 상기 웨이퍼의 가장자리를 가열하기 위한 가장자리 가열소자가 매설되어 있는 박막증착용 히터에 있어서, 상기 중심부 가열소자와 상기 가장자리 가열소자 사이에는, 상기 웨이퍼 지지면에 대해 상기 웨이퍼의 반경방향과 교차하는 방향으로 몰입된 릴리프 홈부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착용 히터.

웨이퍼가 배치되는 웨이퍼 지지면을 가지며, 상기 웨이퍼 지지면의 하방에 상기 웨이퍼의 중심 및 그 중심의 부근을 가열하기 위한 중심부 가열소자와, 상기 웨이퍼의 가장자리를 가열하기 위한 가장자리 가열소자가 매설되어 있는 박막증착용 히터에 있어서, 상기 중심부 가열소자와 상기 가장자리 가열소자 사이에는, 상기 웨이퍼 지지면에 대해 상기 웨이퍼의 반경방향과 교차하는 방향으로 몰입된 릴리프 홈부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착용 히터.