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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0122753 (2005-12-13) |
공개번호 | 10-2006-0067861 (2006-06-20) |
등록번호 | 10-0794987-0000 (2008-01-09) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050122753 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-12-13) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판에 열을 가하여 박막을 증착시키는데 사용되는 진공 증착기의 기판 가열 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 올려지는 금속판 후면 측에 절연막을 장착시키고 절연막 하부에 박막 히터를 장착시킨 상태 또는 비 금속판 후면 측에 박막 히터를 장착시킨 상태에서 금속 패드를 통하여 박막 히터로 저전력 전원을 공급하여 박막 히터의 발열을 통해 금속판 또는 비 금속판 표면 온도를 순간적으로 가열시키는 방식의 기판 가열 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 기판 증착 가능 온도 도달 시간을 단축할 수 있고 소비 전력을 줄
상부에 장착되어 기판이 놓여지는 금속판(21);상기 금속판 내부의 상단 하측면에 장착되어 상기 금속판을 전기적으로 절연시키고 발생된 열을 상기 금속판으로 전도시키는 절연막(22);상기 절연막의 하부에 박막 형태로 장착되어 외부 전원을 공급받아 상기 자체 전기 저항에 의하여 순간적으로 고온 발열되는 박막 히터(23); 및상기 박막 히터의 일측 및 타측에 장착되어 외부로부터 공급된 전원을 상기 박막 히터로 균일하게 공급하는 금속 패드(24);를 포함하여 구성되는 진공 증착기에서 순간 가열 방식의 기판 가열 장치.
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