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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2005-7005460 (2005-03-30) |
공개번호 | 10-2005-0061498 (2005-06-22) |
등록번호 | 10-1025527-0000 (2011-03-22) |
국제출원번호 | PCT/US2003/029980 (2003-09-25) |
국제공개번호 | WO2004031875 (2004-04-15) |
번역문제출일자 | 2005-03-30 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020057005460 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-09-22) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
반도체 처리 시스템에 의해 수행되는 반도체 제조 공정을 모니터링 및 제어하기 위한, 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)들을 포함하는 어드밴스트 프로세스 제어(APC) 시스템이 제시되어 있다. 상기 반도체 처리 시스템은 여러 처리 툴들, 여러 처리 모듈(챔버)들, 및 여러 센서들을 포함하고, 상기 APC 시스템은 APC 서버, 데이터베이스, 인터페이스 서버, 클라이언트 워크스테이션 및 GUI 구성요소를 포함하여 이루어진다. 상기 GUI는 웹기반이며, 웹 브라우저를 이용하여 사용자가 볼 수 있다.
반도체 처리 환경에서 처리 툴을 제어하기 위한 어드밴스트 프로세스 제어(Advanced Process Control : APC) 시스템에 있어서,복수의 APC 관련 어플리케이션들을 제공하는 APC 서버;상기 APC 서버에 커플링된 인터페이스 서버(IS);상기 IS 및 APC 서버에 커플링된 데이터베이스; 및상기 APC 서버에 커플링된 그래픽 사용자 인터페이스(graphical user interface, GUI) 구성요소를 포함하고,상기 IS는, 복수의 프로세스 모듈에 커플링하기 위한 수단, 복수의 센서에 커플링하기 위한 수단, 및
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