초록 ▼

모재의 제조를 위한 알려진 합성 석영 글래스 튜브는 용융상태에서 공구를 이용하지 않고 제조된 표면층을 갖는 내부 보어와, 내부영역을 갖는다. 본 발명의 목표는 어떠한 OH기도 주위로 내보내지 않는 튜브를 제공하는 것이다. 이러한 목적을 위하여, 상기 표면층(30)은 10㎛의 두께, 중량%로 5ppm 이하의 평균 OH 함량 및 0.1㎛ 이하의 평균 표면조도 Ra를 갖는다. 상기 표면층(30)에서 시작하여 상기 외부벽 이전의 10㎛에서 끝나는 상기 내부영역(34)은 중량%로 0.2ppm 이하의 평균 OH 함량을 갖는다. 상기 타입의 석

모재의 제조를 위한 알려진 합성 석영 글래스 튜브는 용융상태에서 공구를 이용하지 않고 제조된 표면층을 갖는 내부 보어와, 내부영역을 갖는다. 본 발명의 목표는 어떠한 OH기도 주위로 내보내지 않는 튜브를 제공하는 것이다. 이러한 목적을 위하여, 상기 표면층(30)은 10㎛의 두께, 중량%로 5ppm 이하의 평균 OH 함량 및 0.1㎛ 이하의 평균 표면조도 Ra를 갖는다. 상기 표면층(30)에서 시작하여 상기 외부벽 이전의 10㎛에서 끝나는 상기 내부영역(34)은 중량%로 0.2ppm 이하의 평균 OH 함량을 갖는다. 상기 타입의 석영 튜브를 제조하는 간단하고 저렴한 방법은 수직 인발 공정에서 연화된 석영 글래스 매스로부터 튜브 스트랜드를 연속적으로 인발하는 것이다. 배기가스는 상기 튜브의 내부 보어를 통하여 순환하며, 상기 가스는 중량당 100ppb 미만의 수분 함량을 갖는다. 상기 튜브 스트랜드의 전단부는 상기 배기가스가 투과할 수 있고, 통과하여 흐르는 배기 가스(23)의 양을 감소시킬 수 있는 유동장애물(26)에 의하여 막혀있다.

대표청구항 ▼

용융상태에서 공구-접촉 없이 제조된 표면층을 갖는 내부 보어(bore), 외부 실린더벽, 및 내부 보어와 외부 실린더벽 사이에서 신장하는 내부 영역을 갖는, 모재를 제조하기 위한 합성 실리카 글래스 튜브에 있어서,상기 표면층(30)은 10㎛의 두께와 5wtppm 이하의 평균 OH 함량 및 그 내부에 0.1㎛ 이하의 평균 표면조도(surface roughness) Ra를 가지며, 그리고상기 표면층(30) 위에서 시작하여 상기 외부 실린더벽 10㎛ 앞에서 끝나는 상기 내부영역(34)이 0.2wtppm 이하의 평균 OH 함량을 가짐을 특

용융상태에서 공구-접촉 없이 제조된 표면층을 갖는 내부 보어(bore), 외부 실린더벽, 및 내부 보어와 외부 실린더벽 사이에서 신장하는 내부 영역을 갖는, 모재를 제조하기 위한 합성 실리카 글래스 튜브에 있어서,상기 표면층(30)은 10㎛의 두께와 5wtppm 이하의 평균 OH 함량 및 그 내부에 0.1㎛ 이하의 평균 표면조도(surface roughness) Ra를 가지며, 그리고상기 표면층(30) 위에서 시작하여 상기 외부 실린더벽 10㎛ 앞에서 끝나는 상기 내부영역(34)이 0.2wtppm 이하의 평균 OH 함량을 가짐을 특징으로 하는 합성 실리카 글래스 튜브.