[특허]낸드 플래쉬 메모리 소자 및 그 제조방법

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[한국특허] 낸드 플래쉬 메모리 소자 및 그 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-027/115
출원번호	10-2006-0008173 (2006-01-26)
공개번호	10-2007-0078175 (2007-07-31)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020060008173
발명자 / 주소	심귀황 / 강원도 강릉시 사천면 사천진리 -
출원인 / 주소	주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산**-
대리인 / 주소	신영무 (SHIN, Young Moo) 서울 중구 순화동 -** 에이스타워 *층
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록 ▼

본 발명은 낸드 플래쉬 메모리 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 셀 블록과 셀 블록 사이의 픽업 영역에 액티브 더미 패턴과 필드 더미 패턴들을 규칙적으로 형성함으로써, 노광 장비의 특성으로 인해 셀 블록의 마지막 패턴이 붕괴(collapse) 되거나 브리지(bridge)가 발생되는 OPC(Optical Proximity Correction) 에러와 노광 장비의 렌즈에 발생하는 스크레치의 영향으로 초점심도(Depth of Focus; DOF) 마진이 부족하여 노광 공정시 패턴 왜곡이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 식각 공정시

대표청구항

반도체 기판상의 액티브 영역 및 필드 영역과 직교하여 일정한 거리로 이격되도록 형성된 복수의 게이트 라인 및 상기 복수의 게이트 라인 양측 바깥쪽에 형성된 소오스 선택 라인 및 드레인 선택 라인을 포함하는 셀 블록들;상기 셀 블록과 셀 블록 사이의 소정 영역에 형성된 웰 픽업; 및상기 웰 픽업이 형성되는 영역을 제외한 상기 셀 블록과 셀 블록 사이에 규칙적으로 형성되는 더미 패턴을 포함하는 낸드 플래쉬 메모리 소자.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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