초록

본 발명의 기술적 사상은 코너 라운딩(corner rounding) 현상을 효과적으로 제어할 수 있는 OPC 방법, 및 그 OPC 방법을 이용한 마스크 제조방법을 제공한다. 그 OPC 방법은 레이아웃의 분해를 통해 내부-에지를 생성하고, 그러한 내부-에지를 기반으로 하여, 내부 프래그먼트의 이동량인 DISin_frag와 선택 프래그먼트의 이동량인 DISsel을 계산하여 프래그먼트를 추가적으로 이동시킴으로써, MRC를 위배하지 않으면서도 코너 라운딩 현상을 최소화한 마스크 레이아웃을 구현할 수 있도록 한다.

대표청구항 ▼

타겟 패턴에 대한 레이아웃의 에지를 프래그먼트(fragment)로 나누는 단계;OPC(Optical Proximity Correction) 모델에 상기 프래그먼트를 포함한 마스크 데이터를 입력하여 시뮬레이션을 통해 상기 타겟 패턴의 컨투어(contour)를 추출하는 단계;상기 컨투어와 상기 타겟 패턴의 에지 간의 차이인 EPE(Edge Placement Error)를 상기 프래그먼트 별로 계산하는 단계; 및상기 타겟 패턴의 컨투어를 추출하는 단계의 재수행 여부를 판단하는 단계;를 포함하고,상기 타겟 패턴의 컨투어를 추출하는 단계를

타겟 패턴에 대한 레이아웃의 에지를 프래그먼트(fragment)로 나누는 단계;OPC(Optical Proximity Correction) 모델에 상기 프래그먼트를 포함한 마스크 데이터를 입력하여 시뮬레이션을 통해 상기 타겟 패턴의 컨투어(contour)를 추출하는 단계;상기 컨투어와 상기 타겟 패턴의 에지 간의 차이인 EPE(Edge Placement Error)를 상기 프래그먼트 별로 계산하는 단계; 및상기 타겟 패턴의 컨투어를 추출하는 단계의 재수행 여부를 판단하는 단계;를 포함하고,상기 타겟 패턴의 컨투어를 추출하는 단계를 재수행하는 것으로 판단된 경우, 상기 EPE에 설정된 피드백(feedback) 인자를 곱하여 상기 프래그먼트의 이동량(displacement)을 결정하는 단계; 및상기 프래그먼트를 상기 이동량만큼 이동시키는 단계;를 수행하고, 상기 타겟 패턴의 컨투어를 추출하는 단계로 이동하며,상기 프래그먼트로 나누는 단계에서, 상기 타겟 패턴의 레이아웃을 분해(decomposition)하여 내부(inner)-에지를 만들고, 상기 레이아웃의 에지는 상기 분해 전의 에지인 외부-에지와 상기 내부-에지를 포함하며, 상기 프래그먼트는 상기 외부-에지에 대한 외부 프래그먼트와 상기 내부-에지에 대한 내부 프래그먼트를 포함하며,상기 타겟 패턴의 컨투어를 추출하는 단계의 재수행 여부를 판단하는 단계에서, 상기 EPE가 설정된 기준 값을 초과하거나, 또는 수행된 OPC 모델에 의한 시뮬레이션의 횟수가 설정된 기준 횟수에 해당하지 않으면, 상기 타겟 패턴의 컨투어를 추출하는 단계를 수행하는 것으로 판단하고,상기 EPE가 설정된 기준 값 이하이거나, 또는 수행된 OPC 모델에 의한 시뮬레이션의 횟수가 설정된 기준 횟수에 해당하면, 상기 타겟 패턴의 컨투어를 추출하는 단계를 수행하지 않는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는, OPC 방법.