[특허]폴리머 제거제

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	G03F-007/42
출원번호	10-2006-0022156 (2006-03-09)
공개번호	10-2006-0097658 (2006-09-14)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020060022156
발명자 / 주소	오우거 로버트 엘. / 미국 매사추세츠 *** 호프데일 존스 로드 라초우스키 조셉 에프. / 미국 매사추세츠 *** 서턴 맨던 로드 *
출원인 / 주소	롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈, 엘.엘.씨. / 미국 매사추세츠 *** 말보로우 포레스트 스트리트 *
대리인 / 주소	최규팔; 이은선 (CHOI, Kyu Pal) 서울 강남구 역삼동 - 한라클래식빌딩 층(한성국제특허법률사무소); 서울 강남구 역삼동 *- 한라클래식빌딩 *층
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

기판, 이를테면 전자장치로부터 후기-플라즈마 처리 폴리머 잔류물의 제거에 유용한 조성물이 제공된다. 또한 후기-플라즈마 처리 잔류물을 제거하는 방법과 조성물을 이용한 집적회로의 제조 방법이 제공된다.

대표청구항

A) 플루오라이드 이온원; B) 물; C) 트리할로아세트산, 유기 폴리카르복실산 화합물, 유기 히드록시-카르복실산 화합물 및 아미노산 중에서 선택된 유기산 화합물; 및 임의로 D) 유기 용매를 포함하고, PH가 ≤ 4.5인 조성물.

이 특허를 인용한 특허 (4)

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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