초록 ▼

본 발명은 반도체 공정에 사용되는 진공펌프의 동작상태를 진단하여 고장지점에 이르기 전 이를 사전 예측하고 경고를 발동함으로써 제품의 불량률을 줄이고 공정의 신뢰도를 높이는 것을 목적으로 하는 진공펌프 상태진단 시스템 개발에 관한 것이다. 종래에는 압력과 같은 하나의 물리량만을 개별적으로 관찰함으로써 진공펌프 시스템의 이상 유무를 판별하려는 시도가 많았으나 이러한 경우 시스템에 영향을 미치는 다양한 인자간의 상관관계를 전혀 고려할 수 없으므로, 본 발명에서는 다양한 변수들의 정보를 T2이라는 하나의 통계량으로 축약하여 변수 개

본 발명은 반도체 공정에 사용되는 진공펌프의 동작상태를 진단하여 고장지점에 이르기 전 이를 사전 예측하고 경고를 발동함으로써 제품의 불량률을 줄이고 공정의 신뢰도를 높이는 것을 목적으로 하는 진공펌프 상태진단 시스템 개발에 관한 것이다. 종래에는 압력과 같은 하나의 물리량만을 개별적으로 관찰함으로써 진공펌프 시스템의 이상 유무를 판별하려는 시도가 많았으나 이러한 경우 시스템에 영향을 미치는 다양한 인자간의 상관관계를 전혀 고려할 수 없으므로, 본 발명에서는 다양한 변수들의 정보를 T2이라는 하나의 통계량으로 축약하여 변수 개개의 거동은 물론 변수간 상관관계까지 종합적으로 고려하였다. 전체 분석단계는 크게 1단계와 2단계로 나뉘어지는데, 진공펌프가 설치되어 운영되는 초기 일정 구간을 1단계로 설정하여 상태진단의 기준이 되는 데이터를 취득하게 되며, 이후 2단계에서는 이를 기반으로 실제 상태진단을 수행하게 된다.

대표청구항

진공펌프에 설치된 센서들로부터 초기 일정기간 동안의 정상동작 신호인 HDS(300)를 입력받아 배치를 추출하고 배치길이를 동일하게 맞춘 후 주성분분석을 통하여 데이터를 압축하고 T2값을 계산하여 UCL을 산출하는 1단계와, 이후의 센서신호를 수집해 배치를 생성하고 배치길이를 동일하게 맞춘 후 주성분을 계산하여 T2값을 산출한 후 최종적으로 T2값과 UCL을 비교하여 고장여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 상태진단 시스템.

진공펌프에 설치된 센서들로부터 초기 일정기간 동안의 정상동작 신호인 HDS(300)를 입력받아 배치를 추출하고 배치길이를 동일하게 맞춘 후 주성분분석을 통하여 데이터를 압축하고 T2값을 계산하여 UCL을 산출하는 1단계와, 이후의 센서신호를 수집해 배치를 생성하고 배치길이를 동일하게 맞춘 후 주성분을 계산하여 T2값을 산출한 후 최종적으로 T2값과 UCL을 비교하여 고장여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 상태진단 시스템.