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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2006-0078090 (2006-08-18) |
| 공개번호 | 10-2008-0016246 (2008-02-21) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020060078090 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
| 법적상태 | 취하 |
배관의 파우더 모니터링 장치는 조명부, 촬상부, 디스플레이부, 분석부 및 제어부를 포함한다. 조명부는 공정 챔버와 연결된 배관 내부를 조명하고, 촬상부는 배관 내부를 촬상한다. 디스플레이부는 촬상부의 촬상 결과를 표시한다. 분석부는 디스플레이부의 표시 결과를 이용하여 배관 내벽의 파우더 면적을 분석한다. 제어부는 분석부의 분석 결과, 표시 면적에 대한 파우더의 면적의 비율이 기 설정된 비율과 같거나 큰 경우 공정 챔버에서 수행되는 공정을 중단시킨다.
공정 챔버와 연결되는 배관 내부에 구비되며, 상기 배관 내부를 조명하기 위한 조명부;상기 배관 내부에 구비되며, 상기 배관 내부의 파우더를 확인하기 위해 상기 배관 내벽을 촬상하는 촬상부; 및상기 촬상부와 연결되며, 상기 촬상부의 촬상 결과를 표시하기 위한 디스플레이부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관의 파우더 모니터링 장치.
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