초록 ▼

본 발명은 하나의 장비로 웨이퍼의 신나 어텍 검사와 웨이퍼 표면에 도포된 포토 레지스터의 두께 측정 및 에지 노광을 포함한 웨이퍼의 측면 검사를 모두 함께 검사할 수 있도록 한 웨이퍼의 검사장비에 관한 것으로, 상.하면 및 측면을 갖는 장비 본체(1)의 내부에, 웨이퍼(W)를 고정하고 회전시키는 척(2)과; 상기 척(2)의 상부측에 설치되어 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 표면 신나 어텍을 검출하는 제1 장치(3)와; 상기 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 상부 측면과 하부 측면을 동시에 검사하여 이들의 조합에 의해서 웨이퍼(W)의

본 발명은 하나의 장비로 웨이퍼의 신나 어텍 검사와 웨이퍼 표면에 도포된 포토 레지스터의 두께 측정 및 에지 노광을 포함한 웨이퍼의 측면 검사를 모두 함께 검사할 수 있도록 한 웨이퍼의 검사장비에 관한 것으로, 상.하면 및 측면을 갖는 장비 본체(1)의 내부에, 웨이퍼(W)를 고정하고 회전시키는 척(2)과; 상기 척(2)의 상부측에 설치되어 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 표면 신나 어텍을 검출하는 제1 장치(3)와; 상기 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 상부 측면과 하부 측면을 동시에 검사하여 이들의 조합에 의해서 웨이퍼(W)의 측면 검사가 이루어지게 하는 제2 장치(4)와; 상기 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 포토 레지스터 두께를 측정하는 제3 장치(5);가 구비됨으로써 웨이퍼 검사의 신속성 및 간편성을 확보할 수 있을 뿐 아니라 기존에 검사가 불가능했던 에지 노광을 포함한 측면 검사도 함께 이루어지므로 웨이퍼 검사의 정확성 및 효율성을 기할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

상.하면 및 측면을 갖는 장비 본체(1)의 내부에,웨이퍼(W)를 고정하고 회전시키는 척(2)과;상기 척(2)의 상부측에 설치되어 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 표면 신나 어텍을 검출하는 제1 장치(3)와;상기 제1 장치(3)의 타측 하부에 설치되어 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 상부 측면과 하부 측면을 동시에 검사하여 이들의 조합에 의해서 웨이퍼(W)의 측면 검사가 이루어지게 하는 제2 장치(4)와;상기 제2 장치(4)의 상부측에 설치되어 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 포토 레지스터 두께를 측정하는 제3 장치(5);가 구비된

상.하면 및 측면을 갖는 장비 본체(1)의 내부에,웨이퍼(W)를 고정하고 회전시키는 척(2)과;상기 척(2)의 상부측에 설치되어 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 표면 신나 어텍을 검출하는 제1 장치(3)와;상기 제1 장치(3)의 타측 하부에 설치되어 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 상부 측면과 하부 측면을 동시에 검사하여 이들의 조합에 의해서 웨이퍼(W)의 측면 검사가 이루어지게 하는 제2 장치(4)와;상기 제2 장치(4)의 상부측에 설치되어 척(2)에 탑재된 웨이퍼(W)의 포토 레지스터 두께를 측정하는 제3 장치(5);가 구비된 것을 특징으로 한 웨이퍼의 검사장비.