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NTIS 바로가기주관연구기관 | 와이즈플래닛(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500016881 |
과제고유번호 | 1425072725 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-24 |
키워드 | 공기부양.엘시디.오엘이디.비접촉.부상판. |
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 기판크기 : 계획(2,200 X 2,500), 실적(2,200 X 2,500)
2. 부상높이 : 계획(최대 200um), 실적(최대 200um)
3. Glass 평탄도 : 계획(±30 이내), 실적(±30 이내)
4. 무접촉반송 : 계획(1,000매 반송 무접촉), 실적(1,000매 반송 무접촉)
5. Glass 반송속도 : 계획(300mm/s), 실적(300mm/s)
6. 내구성 : 계획(1,000매 반송 테스트), 실적(1,000매 반송 테스트)
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