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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2006-0107487 (2006-11-01) |
공개번호 | 10-2008-0039764 (2008-05-07) |
등록번호 | 10-0908120-0000 (2009-07-09) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060107487 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2006-11-01) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
전자기 마이크로 액츄에이터에 관하여 개시된다. 개시된 전자기 마이크로 액츄에이터는, 기판의 일면에 회동가능하게 형성된 스테이지; 상기 스테이지의 회전축 양측에 연결된 한쌍의 토션스프링; 상기 토션스프링을 지지하며 상기 스테이지를 감싸는 고정프레임; 상기 스테이지의 상면 일측에 소정 깊이로 권취된 구동코일; 상기 스테이지에서 상기 구동코일의 일측에 형성된 미러부; 및 상기 고정프레임의 마주보는 양측에 형성된 한쌍의 영구자석;을 구비하는 것을 특징으로 한다.
기판의 일면에 회동가능하게 형성된 스테이지;상기 스테이지의 회전축 양측에 연결된 한쌍의 토션스프링;상기 토션스프링을 지지하며 상기 스테이지를 감싸는 고정프레임;상기 스테이지의 상면 일측에 소정 깊이로 권취된 구동코일;상기 스테이지에서 상기 구동코일의 일측에 형성된 미러부; 및상기 고정프레임의 마주보는 양측에 형성된 한쌍의 영구자석;을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자기 마이크로 액츄에이터.제 1 항에 있어서,상기 미러부는 상기 스테이지에 형성된 홀에서 지지빔에 의해 상기 스테이지에 연결된 것을 특징으로 하는 전자기 마이크로 액츄에이
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