초록 ▼

정전용량 검출 전극판이 센서 회로부와 일체형으로 집적된 것을 특징으로 하는 정전용량 센서에 대해 개시한다. 본 발명의 또 다른 특징은, 센서 회로부와 정전용량 검출 전극판의 사이에, 센서 회로부를 실드시키도록 실드 전극이 마련되며, 정전용량 검출 전극판과 실드 전극 사이의 기생 커패시턴스를 줄이도록 상쇄전극이 마련된다는 것이다. 본 발명에 의하면, 집적된 정전용량 검출 전극판의 기생 커패시턴스도 최소화시킬 수 있을 뿐 아니라 정전용량 검출 전극판과 센서 회로와의 간섭 효과도 차단할 수 있어서, 미소량의 정전용량 변화도 쉽게 감지하여

정전용량 검출 전극판이 센서 회로부와 일체형으로 집적된 것을 특징으로 하는 정전용량 센서에 대해 개시한다. 본 발명의 또 다른 특징은, 센서 회로부와 정전용량 검출 전극판의 사이에, 센서 회로부를 실드시키도록 실드 전극이 마련되며, 정전용량 검출 전극판과 실드 전극 사이의 기생 커패시턴스를 줄이도록 상쇄전극이 마련된다는 것이다. 본 발명에 의하면, 집적된 정전용량 검출 전극판의 기생 커패시턴스도 최소화시킬 수 있을 뿐 아니라 정전용량 검출 전극판과 센서 회로와의 간섭 효과도 차단할 수 있어서, 미소량의 정전용량 변화도 쉽게 감지하여 주파수의 변화를 크게 유기할 수 있으므로 정전용량의 검출의 정도를 높일 수 있는 정전용량 센서를 얻을 수 있다. 또한, 정전용량 검출 전극판이 센서 회로와 집적되어 소형화된 정전용량 센서를 구현할 수도 있다.

대표청구항 ▼

유기되는 정전용량의 변화를 감지하기 위한 정전용량 검출 전극판과, 상기 정전용량 검출 전극판에서 감지된 정전용량의 변화에 따른 출력을 발생시키는 센서 회로부를 구비하는 정전용량 센서에 있어서,상기 정전용량 검출 전극판이 상기 센서 회로부와 일체형으로 집적된 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.제1항에 있어서, 상기 센서 회로부가 실리콘 기판 상에 집적되는 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.제2항에 있어서,상기 센서 회로부와 상기 정전용량 검출 전극판의 사이에, 상기 센서 회로부를 실드시키도록 상기 실리콘 기판과 전기적으로 연결되는 실

유기되는 정전용량의 변화를 감지하기 위한 정전용량 검출 전극판과, 상기 정전용량 검출 전극판에서 감지된 정전용량의 변화에 따른 출력을 발생시키는 센서 회로부를 구비하는 정전용량 센서에 있어서,상기 정전용량 검출 전극판이 상기 센서 회로부와 일체형으로 집적된 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.제1항에 있어서, 상기 센서 회로부가 실리콘 기판 상에 집적되는 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.제2항에 있어서,상기 센서 회로부와 상기 정전용량 검출 전극판의 사이에, 상기 센서 회로부를 실드시키도록 상기 실리콘 기판과 전기적으로 연결되는 실드 전극과, 상기 정전용량 검출 전극판과 상기 실드 전극 사이의 기생 커패시턴스를 줄이도록 상기 센서 회로부에 전기적으로 연결되는 상쇄전극이 순차적으로 집적 형성되어 있으며;상기 정전용량 검출 전극판, 실드전극 및 상쇄전극의 각각을 절연하는 층간 절연체들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.제3항에 있어서, 상기 센서 회로부가 상기 정전용량 검출 전극판에 인가되는 것과 동일한 전압파형을 상기 상쇄전극에 인가하기 위한 상쇄전극 구동버퍼부를 포함하며, 상기 상쇄전극과 상기 센서 회로부의 구동버퍼부가 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.제3항에 있어서, 상기 실리콘 기판, 센서 회로부, 실드전극, 상쇄전극, 정전용량 검출 전극판 및 이들 사이의 층간 절연체들 모두가 집적되되, 상기 정전용량 검출 전극판이 가장 상부에 놓이도록 단일 패키지 상태로 조립되어, 상기 패키지의 상부에 발생되는 정전용량의 변화를 감지하는 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.