최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
---|---|
연구책임자 | 황철성 |
참여연구자 | 권오성 , 조금석 , 김경민 , 최병준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-10 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900072174 |
과제고유번호 | 1350022343 |
사업명 | 나노바이오기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | 탐침형 정보저장장치.탐침.강유전체.테라바이트급.정보저장.Scanning Probe Microscopy.SPM.high density storage.PZT.nano island. |
1. 정전용량형 very small 탐침 개발
- 당초 목표였던 초소형 탐침 개발
- 건식 식각을 이용하여 원하는 크기와 형태의 탐침을 개발할 수 있는 기술 확보
2. 고유전 박막 기술 개발
-새로운 전구체를 이용한ALD Hf
3. PZT island 제작 기술 확보
- XRD, PFM 등의 결과로 PZT island 형성 확인
- island의 크기 및 두께, 조성을 제어할 수 있는 기술 확보
4. 정전용량형 탐침 모델을 제작
- 정전용량
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.