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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2006-0119122 (2006-11-29) |
공개번호 | 10-2008-0048756 (2008-06-03) |
등록번호 | 10-0857591-0000 (2008-09-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060119122 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2006-11-29) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
정전용량 검출 전극판이 센서 회로부와 일체형으로 집적된 것을 특징으로 하는 정전용량 센서에 대해 개시한다. 본 발명의 또 다른 특징은, 센서 회로부와 정전용량 검출 전극판의 사이에, 센서 회로부를 실드시키도록 실드 전극이 마련되며, 정전용량 검출 전극판과 실드 전극 사이의 기생 커패시턴스를 줄이도록 상쇄전극이 마련된다는 것이다. 본 발명에 의하면, 집적된 정전용량 검출 전극판의 기생 커패시턴스도 최소화시킬 수 있을 뿐 아니라 정전용량 검출 전극판과 센서 회로와의 간섭 효과도 차단할 수 있어서, 미소량의 정전용량 변화도 쉽게 감지하여
유기되는 정전용량의 변화를 감지하기 위한 정전용량 검출 전극판과, 상기 정전용량 검출 전극판에서 감지된 정전용량의 변화에 따른 출력을 발생시키는 센서 회로부를 구비하는 정전용량 센서에 있어서,상기 정전용량 검출 전극판이 상기 센서 회로부와 일체형으로 집적된 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.제1항에 있어서, 상기 센서 회로부가 실리콘 기판 상에 집적되는 것을 특징으로 하는 정전용량 센서.제2항에 있어서,상기 센서 회로부와 상기 정전용량 검출 전극판의 사이에, 상기 센서 회로부를 실드시키도록 상기 실리콘 기판과 전기적으로 연결되는 실
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