다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
| 출원번호 | 10-2006-0133818 (2006-12-26) |
| 등록번호 | 10-0783730-0000 (2007-12-03) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020060133818 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
|
| 대리인 / 주소 |
|
| 심사청구여부 | 있음 (2006-12-26) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 포토마스크 건식세정장치 및 건식세정방법에 관한 것으로, 펠리클이 제거된 상태의 포토마스크 표면의 이물질 및 접착물질을 제거하는 포토마스크 세정장치에 있어서, 챔버 내에 설치되어 포토마스크를 로딩받아 고정지지하는 로딩기재와, 상기 챔버 내에서 상기 로딩기재에 로딩된 포토마스크 표면에 승화성 고체입자를 분사하여 상기 포토마스크 표면을 건식세정처리하는 분사기재를 포함하는 포토마스크 건식세정장치 및 건식세정방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 포토마스크를 건식세정처리이므로 헤이즈 발생을 방지할 뿐만 아니라 잔여물을 남기지 않아
펠리클이 제거된 상태의 포토마스크 표면의 이물질 및 접착물질을 제거하는 포토마스크 세정장치에 있어서,챔버 내에 설치되어 포토마스크를 로딩받아 고정지지하는 로딩기재; 및상기 챔버 내에서 상기 로딩기재에 로딩된 포토마스크 표면에 승화성 고체입자를 분사하여 상기 포토마스크 표면을 건식세정처리하는 분사기재를 포함하는 포토마스크 건식세정장치.
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.