서울특별시 강남구 도곡*동 ***-*번지 덕영빌딩 *층 (노벨국제특허법률사무소);
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심사진행상태
취하(심사미청구)
법적상태
취하
초록▼
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 정전척(Electro-Static Chuck)의 정전력으로 전면 패널을 홀딩하여, 패널의 패턴 손상을 방지할 수 있으며, 패널들의 정렬 공정과 실링 공정에서 패널의 슬립(Slip)을 방지할 수 있는 장점이 있다.또한, 본 발명은 하나의 진공 챔버에서, 전면 패널과 후면 패널을 배열하고, 방전 가스를 주입하여 합착함으로써, 팁 없이(Tip-less) 플라즈마 디스플레이 패널을 제조할 수 있는 장점이 있다.따라서, 본 발명은 배기 공정을 생략할 수 있고, 복잡한
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 정전척(Electro-Static Chuck)의 정전력으로 전면 패널을 홀딩하여, 패널의 패턴 손상을 방지할 수 있으며, 패널들의 정렬 공정과 실링 공정에서 패널의 슬립(Slip)을 방지할 수 있는 장점이 있다.또한, 본 발명은 하나의 진공 챔버에서, 전면 패널과 후면 패널을 배열하고, 방전 가스를 주입하여 합착함으로써, 팁 없이(Tip-less) 플라즈마 디스플레이 패널을 제조할 수 있는 장점이 있다.따라서, 본 발명은 배기 공정을 생략할 수 있고, 복잡한 장치를 구성하지 않아도 되며, 공정을 단순화시킬 수 있는 효과가 있다.
대표청구항▼
플라즈마 디스플레이 패널용 전면 패널을 정전력으로 홀딩할 수 있는 정전척(Electro-Static Chuck)이, 내측 상부에 설치되어 있는 상부 챔버와; 상기 상부 챔버의 대향된 하부에 위치되어 있으며, 실(Seal)재가 도포된 플라스마 디스플레이 패널용 후면 패널이 놓여지는 하부 척(Chuck)이, 내측 하부에 설치된 하부 챔버를 포함하여 구성된 플라스마 디스플레이 패널의 제조 장치.제 1 항에 있어서, 상기 정전척은,상기 상승 및 하강할 수 있는 축과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치.제
플라즈마 디스플레이 패널용 전면 패널을 정전력으로 홀딩할 수 있는 정전척(Electro-Static Chuck)이, 내측 상부에 설치되어 있는 상부 챔버와; 상기 상부 챔버의 대향된 하부에 위치되어 있으며, 실(Seal)재가 도포된 플라스마 디스플레이 패널용 후면 패널이 놓여지는 하부 척(Chuck)이, 내측 하부에 설치된 하부 챔버를 포함하여 구성된 플라스마 디스플레이 패널의 제조 장치.제 1 항에 있어서, 상기 정전척은,상기 상승 및 하강할 수 있는 축과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치.제 1 항에 있어서, 상기 정전척 주변의 상부 챔버 내측에는,상기 전면 패널과 후면 패널을 봉착시키기 위해, 상기 실재를 용융시키는 실재 가열부가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치.제 1 항에 있어서, 상기 하부 챔버와 하부척을 관통하여 상승 및 하강하는 업다운 핀들이 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치.제 1 항에 있어서, 상기 상부 챔버와 상기 하부 챔버는 합착되면 내부가 외부로부터 기밀유지되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치.제 2 항에 있어서, 상기 축에는,상기 전면 패널과 후면 패널을 정렬시킬 수 있는 정렬 구동부가 더 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치.제 1 항에 있어서, 상기 상부 챔버와 하부 챔버가 합착될 때, 상기 상부 챔버와 하부 챔버로 이루어진 챔버 내부를 진공 상태를 만들기 위하여, 상기 하부 챔버를 관통되어 설치된 진공 유지관과;상기 진공 유지관과 연결된 진공 펌프가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치.제 1 항에 있어서, 상기 하부척은,세라믹 블럭 상부에 히터층, 제 1 절연층, ESC(Electro static chuck)층과 제 2 절연층이 순차적으로 적층되어 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 장치.플라즈마 디스플레이 패널용 전면 패널을 정전척(Electro-Static Chuck)의 정전력으로 홀딩하는 단계와;상기 전면 패널 하부에, 실(Seal)재가 도포된 후면 패널을 위치시키는 단계와;상기 전면 패널과 후면 패널을 합착시키는 단계를 포함하여 구성된 플라스마 디스플레이 패널의 제조 방법.내측 상부에 정전력으로 홀딩할 수 있는 정전척(Electro-Static Chuck)이 구비되어 있는 상부 챔버와; 상기 상부 챔버의 대향된 하부에 위치되어 있으며, 내측 하부에 하부 척(Chuck)이 구비된 하부 챔버로 이루어진 진공 챔버를 준비하는 단계와;플라즈마 디스플레이 패널용 전면 패널 및, 실(Seal)재가 도포된 후면 패널을 준비하는 단계와;상기 진공 챔버 내부에 상기 플라즈마 디스플레이 패널용 전면 패널을 이송하고, 상기 정전척으로 상기 전면 패널을 홀딩하는 단계와;상기 진공 챔버 내부에 상기 플라즈마 디스플레이 패널용 후면 패널을 이송하고, 상기 하부 척 상부에 상기 후면 패널을 올려놓는 단계와;상기 진공 챔버의 상부 챔버와 하부 챔버를 합착하고, 상기 진공 챔버의 내부를 진공상태를 만드는 단계와;상기 진공 챔버 내부에 방전 가스를 주입하는 단계와;상기 전면 패널을 상기 후면 패널의 실재에 올려놓고, 상기 실재를 가열하여 봉착시키는 단계로 이루어진 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.제 10 항에 있어서, 상기 진공 챔버 내부에 상기 플라즈마 디스플레이 패널용 전면 패널 및 후면 패널을 이송하는 것은,상기 상부 챔버와 하부 챔버가 이격되어 있는 상태에서, 플라즈마 디스플레이 패널용 전면 패널을 로딩암(Loading arm)에 올려놓고, 상기 로딩암을 상기 상부 챔버와 하부 챔버 사이로 이송하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.제 10 항에 있어서, 상기 정전척으로 상기 전면 패널을 홀딩하는 것은,상기 정전척이 상승 및 하강할 수 있는 축의 하강 동작에 의해 하강하여 상기 전면 패널을 정전력으로 홀딩하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.제 10 항에 있어서, 상기 진공 챔버 내부에 상기 플라즈마 디스플레이 패널용 후면 패널을 이송하고, 상기 하부 척 상부에 상기 후면 패널을 올려놓는 단계는,상기 진공 챔버 내부에 상기 후면 패널을 로딩암으로 이송하고, 상기 하부 챔버와 하부척을 관통하여 상승 및 하강하는 업다운 핀들이 상승하여 상기 후면 패널을 지지하고, 상기 로딩암이 상기 상부 챔버와 하부 챔버 외부로 빠져나가고, 상기 업다운 핀들이 하강하여 상기 후면 패널을 상기 하부척 상부에 올려놓는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.제 10 항에 있어서, 상기 전면 패널을 상기 후면 패널의 실재에 올려놓고, 상기 실재를 가열하여 봉착시키는 단계는.상기 정전척이 하강하여, 상기 전면 패널을 상기 후면 패널의 실재에 올려놓고, 상기 실재를 실재 가열부로 가열하여 봉착시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.제 14 항에 있어서, 상기 실재 가열부는,상기 정전척 주변의 상부 챔버 내측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.제 10 항에 있어서, 상기 전면 패널을 상기 후면 패널의 실재에 올려놓을 때, 상기 전면 패널과 후면 패널의 정렬 공정을 더 수행하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
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