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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0052839 (2012-05-18) | |
공개번호 | 10-2013-0128810 (2013-11-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120052839 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-05-18) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 아킹 현상을 개선한 정전척 제조방법에 관한 것으로서, 세라믹 용사코팅타입으로 제조된 정전척은 코팅층의 기공률에 의하여 세라막 코팅층에 아킹 현상이 발생하여 그 수명을 저해하고 있는 문제점을 해결하기 위하여 개발된 것으로;정전척의 기초가 되는 알루미늄 베이스를 준비하는 단계와;상기 알루미늄 베이스의 상면에 고진공 상태에서 증발시켜 박막을 형성시키는 스퍼터링 장비를 이용하여 Si3N4를 코팅한 플라즈마 실링 코팅층을 형성하는 단계와;상기 플라즈마 실링 코팅층의 위로 Y2O3 또는 Al2O3를 코팅하여 세라믹 코팅층을 형성하는
정전척(1)의 기초가 되는 알루미늄 베이스(11)를 준비하는 단계와;상기 알루미늄 베이스(11)의 상면에 고진공 상태에서 증발시켜 박막을 형성시키는 스퍼터링 장비를 이용하여 Si3N4를 코팅한 플라즈마 실링 코팅층(13)을 형성하는 단계와;상기 플라즈마 실링 코팅층(13)의 위로 Y2O3 또는 Al2O3를 코팅하여 세라믹 코팅층(12)을 형성하는 단계와;상기 세라믹 코팅층(12)을 형성한 후 상면의 평탄도 작업과 엠보싱을 형성하는 단계의 일련의 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 아킹 현상을 개선한 정전척 제조방법.
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