초록 ▼

본 발명은 잉크젯 프린터 헤드 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 노즐에 관통 영역을 형성하여 충진제를 노즐에 더 원활하게 채울 수 있고, 충진제가 채워진 노즐표면에 소수성 단층막을 형성함으로써, 헤드의 마모 및 오염원을 최소화할 수 있고, 잉크의 토출 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.또한, 본 발명은 충진제를 채우고 기판을 폴리싱(Polishing)한 후, 노즐표면에 소수성 단층막을 형성함으로써, 노즐의 끝단면이 편평하게 되어, 잉크젯 프린터 헤드에서 토출되는 잉크의 직진성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 더불어, 본 발명

본 발명은 잉크젯 프린터 헤드 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 노즐에 관통 영역을 형성하여 충진제를 노즐에 더 원활하게 채울 수 있고, 충진제가 채워진 노즐표면에 소수성 단층막을 형성함으로써, 헤드의 마모 및 오염원을 최소화할 수 있고, 잉크의 토출 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.또한, 본 발명은 충진제를 채우고 기판을 폴리싱(Polishing)한 후, 노즐표면에 소수성 단층막을 형성함으로써, 노즐의 끝단면이 편평하게 되어, 잉크젯 프린터 헤드에서 토출되는 잉크의 직진성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 더불어, 본 발명은 복수개의 잉크젯 프린터 헤드들의 노즐들과 유로들을 일괄 공정으로 기판에 패터닝하여 형성함으로써, 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

잉크가 흘러가는 유로 및 상기 유로와 연결되어 잉크가 외부로 토출되는 노즐이 형성되어 있고, 상기 노즐의 종단부에 관통 영역이 형성되어 있는 기판을 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.제 1 항에 있어서, 상기 노즐의 끝단이 노출된 기판 표면은,폴리싱(Polishing)되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘, 실리콘 산화막과 실리콘 질화막 중 하나인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 노즐

잉크가 흘러가는 유로 및 상기 유로와 연결되어 잉크가 외부로 토출되는 노즐이 형성되어 있고, 상기 노즐의 종단부에 관통 영역이 형성되어 있는 기판을 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.제 1 항에 있어서, 상기 노즐의 끝단이 노출된 기판 표면은,폴리싱(Polishing)되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘, 실리콘 산화막과 실리콘 질화막 중 하나인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 노즐의 끝단이 노출된 기판 표면에 소수성 단층막이 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.제 4 항에 있어서, 상기 소수성 단층막의 두께(t)는 50~100Å인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.복수개의 잉크젯 프린터 헤드들을 위한 노즐들과 유로들을 기판에 형성하는 단계와;상기 각각의 노즐들의 종단부에 상기 기판을 관통하는 영역을 형성하는 단계와;상기 각각의 노즐들에 충진제를 채우는 단계와;절단 공정을 수행하여, 단일 잉크젯 프린터 헤드용 기판 또는 복수개가 어레이된 어레이 잉크젯 프린터 헤드용 기판으로 분리시키는 단계와;상기 분리된 단일 잉크젯 프린터 헤드용 기판 또는 복수개가 어레이된 어레이 잉크젯 프린터 헤드용 기판의 표면에 소수성 단층막을 코팅하는 단계와;상기 충진제를 제거하는 단계를 포함하여 구성된 잉크젯 프린터 헤드의 제조 방법.