최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-2007-0009246 (2007-01-30) |
공개번호 | 10-2007-0079002 (2007-08-03) |
등록번호 | 10-0837057-0000 (2008-06-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070009246 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2007-01-30) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
대형화된 기판에 대해서도 효율적으로 처리할 수 있는 감압건조 처리장치를 제공한다.실린더 유닛(10)의 로드(11)의 하단(下端)에는 보강판(13)을 통해 천판(天板)(14)를 취부하고 있다. 이 천판(14)의 크기는 기판(W)를 충분히 커버할 수 있는 크기로 되어 있다. 그 두께는 보강판(13)보다도 충분히 얇게 되어 경량화를 달성하고 있다. 또한, 보강판(13)은 평면에서 봤을 때 상기 천판(14)의 변과는 45°의 각도를 이루는 4장의 분할판(13a)와, 이들 분할판(13a)를 연결하는 연결부재(連結部材)(13b)로 구성된다.
기판을 챔버 내에 반입해서 상기 기판표면의 도포액을 감압건조시키는 감압건조 처리장치에 있어서, 상기 챔버 내에는 기판 재치부재와, 이 기판 재치부재에 대해 승강 움직임을 하는 천판이 배치되고, 또한 상기 챔버의 측면에는 기판을 반입·반출하는 로봇 암이 진입하기 위한 개구와, 이 개구를 개폐하는 문이 설치되어, 이 문의 열리는 움직임에 연동해서 상기 천판이 상승하고, 닫히는 움직임에 연동하여 상기 천판이 하강하는 것을 특징으로 하는 감압건조 처리장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.