초록 ▼

대형화된 기판에 대해서도 효율적으로 처리할 수 있는 감압건조 처리장치를 제공한다.실린더 유닛(10)의 로드(11)의 하단(下端)에는 보강판(13)을 통해 천판(天板)(14)를 취부하고 있다. 이 천판(14)의 크기는 기판(W)를 충분히 커버할 수 있는 크기로 되어 있다. 그 두께는 보강판(13)보다도 충분히 얇게 되어 경량화를 달성하고 있다. 또한, 보강판(13)은 평면에서 봤을 때 상기 천판(14)의 변과는 45°의 각도를 이루는 4장의 분할판(13a)와, 이들 분할판(13a)를 연결하는 연결부재(連結部材)(13b)로 구성된다.

대형화된 기판에 대해서도 효율적으로 처리할 수 있는 감압건조 처리장치를 제공한다.실린더 유닛(10)의 로드(11)의 하단(下端)에는 보강판(13)을 통해 천판(天板)(14)를 취부하고 있다. 이 천판(14)의 크기는 기판(W)를 충분히 커버할 수 있는 크기로 되어 있다. 그 두께는 보강판(13)보다도 충분히 얇게 되어 경량화를 달성하고 있다. 또한, 보강판(13)은 평면에서 봤을 때 상기 천판(14)의 변과는 45°의 각도를 이루는 4장의 분할판(13a)와, 이들 분할판(13a)를 연결하는 연결부재(連結部材)(13b)로 구성된다. 이와 같이 각 분할판(13a)를 연결해서 직사각형 틀형상의 보강판(13)으로 하고, 또한 보강판(13)과 상기 천판(14)는 평면에서 봤을 때 45°위상(位相)을 어긋나게 취부하고 있기 때문에, 뒤틀림에 대해 천판(14)가 변형되는 것을 방지할 수 있다.

대표청구항

기판을 챔버 내에 반입해서 상기 기판표면의 도포액을 감압건조시키는 감압건조 처리장치에 있어서, 상기 챔버 내에는 기판 재치부재와, 이 기판 재치부재에 대해 승강 움직임을 하는 천판이 배치되고, 또한 상기 챔버의 측면에는 기판을 반입·반출하는 로봇 암이 진입하기 위한 개구와, 이 개구를 개폐하는 문이 설치되어, 이 문의 열리는 움직임에 연동해서 상기 천판이 상승하고, 닫히는 움직임에 연동하여 상기 천판이 하강하는 것을 특징으로 하는 감압건조 처리장치.

기판을 챔버 내에 반입해서 상기 기판표면의 도포액을 감압건조시키는 감압건조 처리장치에 있어서, 상기 챔버 내에는 기판 재치부재와, 이 기판 재치부재에 대해 승강 움직임을 하는 천판이 배치되고, 또한 상기 챔버의 측면에는 기판을 반입·반출하는 로봇 암이 진입하기 위한 개구와, 이 개구를 개폐하는 문이 설치되어, 이 문의 열리는 움직임에 연동해서 상기 천판이 상승하고, 닫히는 움직임에 연동하여 상기 천판이 하강하는 것을 특징으로 하는 감압건조 처리장치.