초록 ▼

상부 및 하부 연마판의 마주보는 면의 중앙부가 함몰되며, 그 사이에 웨이퍼가 게재되는 양면 연마기 및 이를 이용한 연마 방법이 제공된다. 웨이퍼와 접촉되는 상부 연마판 및 하부 연마판의 각 면의 중앙부가 연속적으로 내측으로 함몰되어 있으며, 상기 상부 및 하부 연마판의 주변부보다 상기 중앙부에 보다 큰 압력으로 상기 상부 연마판 및 하부 연마판을 압착시켜 웨이퍼를 연마시킨다. 이러한 구성으로 인하여, 상하부 연마판의 매칭이 최적화되어 평편도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 연마 공정 시간을 단축하고 작업 효율 및 웨이퍼의 품질을

상부 및 하부 연마판의 마주보는 면의 중앙부가 함몰되며, 그 사이에 웨이퍼가 게재되는 양면 연마기 및 이를 이용한 연마 방법이 제공된다. 웨이퍼와 접촉되는 상부 연마판 및 하부 연마판의 각 면의 중앙부가 연속적으로 내측으로 함몰되어 있으며, 상기 상부 및 하부 연마판의 주변부보다 상기 중앙부에 보다 큰 압력으로 상기 상부 연마판 및 하부 연마판을 압착시켜 웨이퍼를 연마시킨다. 이러한 구성으로 인하여, 상하부 연마판의 매칭이 최적화되어 평편도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 연마 공정 시간을 단축하고 작업 효율 및 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

상부 연마판 및 하부 연마판이 구비되어, 그 사이에 웨이퍼를 게재하여 연마를 수행하는 양면 연마기에 있어서,상기 웨이퍼와 접촉되는 상부 연마판 및 하부 연마판의 각 면의 중앙부가 연속적으로 내측으로 함몰되어 있으며, 상기 상부 및 하부 연마판의 주변부보다 상기 중앙부에 보다 큰 압력으로 상기 상부 연마판 및 하부 연마판을 압착시켜 웨이퍼를 연마하는 것을 특징으로 하는 양면 연삭기.제1항에 있어서,상기 상부 연마판의 최대 함몰 깊이는 40 내지 50 ㎛인 것을 특징으로 하는 양면 연삭기.제1항에 있어서,상기 하부 연마판의 최대 함몰

상부 연마판 및 하부 연마판이 구비되어, 그 사이에 웨이퍼를 게재하여 연마를 수행하는 양면 연마기에 있어서,상기 웨이퍼와 접촉되는 상부 연마판 및 하부 연마판의 각 면의 중앙부가 연속적으로 내측으로 함몰되어 있으며, 상기 상부 및 하부 연마판의 주변부보다 상기 중앙부에 보다 큰 압력으로 상기 상부 연마판 및 하부 연마판을 압착시켜 웨이퍼를 연마하는 것을 특징으로 하는 양면 연삭기.제1항에 있어서,상기 상부 연마판의 최대 함몰 깊이는 40 내지 50 ㎛인 것을 특징으로 하는 양면 연삭기.제1항에 있어서,상기 하부 연마판의 최대 함몰 깊이는 20 내지 30 ㎛인 것을 특징으로 하는 양면 연삭기.제1항에 있어서,상기 압력은 연마 공정이 진행됨에 따라 변화하는 것을 특징으로 하는 양면 연삭기.제4항에 있어서,상기 압력은 제1 압력값으로 가공한 후, 상기 제1 압력값보다 큰 제2 압력으로 가공하고, 그 후에 상기 제1 압력값과 상기 제2 압력값의 중간값으로 가공하는 것을 특징으로 하는 양면 연삭기.제5항에 있어서,상기 제1 압력값은 150 내지 200 daN 이며, 상기 제2 압력값은 500 내지 600daN 이며, 상기 제3 압력값은 200 내지 300 daN 인 것을 특징으로 하는 양면 연삭기.각 면의 중앙부가 연속적으로 내측으로 함몰된 상부 연마판 및 하부 연마판을 제공하는 단계;상기 상부 연마판 및 하부 연마판 사이에 웨이퍼를 게재하되, 상기 함몰된 부위가 서로 마주보도록 배치하는 단계; 및상기 상부 연마판 및 하부 연마판를 그 주변부보다 상기 중앙부에 보다 큰 압력으로 압착시켜 웨이퍼를 연마하는 단계;를 포함하는 양면 연삭기의 연마 방법.제7항에 있어서,상기 상부 연마판의 최대 함몰 깊이는 40 내지 50 ㎛인 것을 특징으로 하는 양면 연삭기의 연마 방법.제7항에 있어서,상기 하부 연마판의 최대 함몰 깊이는 20 내지 30 ㎛인 것을 특징으로 하는 양면 연삭기의 연마 방법.제7항에 있어서,연마 공정이 진행됨에 따라 상기 압력을 변화시키는 단계를 더 포함하는 양면 연삭기의 연마 방법.제 10항에 있어서,상기 압력은 제1 압력값으로 가공한 후, 상기 제1 압력값보다 큰 제2 압력으로 가공하고, 그 후에 상기 제1 압력값과 상기 제2 압력값의 중간값으로 가공하는 것을 특징으로 하는 양면 연삭기의 연마 방법.제11항에 있어서,상기 제1 압력값은 150 내지 200 daN 이며, 상기 제2 압력값은 500 내지 600daN 이며, 상기 제3 압력값은 200 내지 300 daN 인 것을 특징으로 하는 양면 연삭기의 연마 방법.