초록 ▼

본 발명은 반도체 처리 공정 중에서 세정, 식각 공정 등과 같이 웨이퍼를 회전시키면서 공정을 진행하는데 사용하기 위한 스핀 척에 관한 것으로, 본 발명의 스핀 척은 스핀 헤드, 스핀 헤드 상에 설치되어 웨이퍼를 지지하는 지지 핀, 스핀 헤드 상에 설치되고 상기 기판의 가장 자리를 척킹하는 척킹 핀, 척킹 핀을 상기 웨이퍼의 가장자리와 접촉하는 공정 위치 및 웨이퍼를 지지 핀 상에 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 스핀 헤드의 외측 방향으로 벌어지는 대기 위치로 변위시키는 구동 부재, 스핀 헤드의 내부에 설치되고, 척킹 핀의 위치를 감지

본 발명은 반도체 처리 공정 중에서 세정, 식각 공정 등과 같이 웨이퍼를 회전시키면서 공정을 진행하는데 사용하기 위한 스핀 척에 관한 것으로, 본 발명의 스핀 척은 스핀 헤드, 스핀 헤드 상에 설치되어 웨이퍼를 지지하는 지지 핀, 스핀 헤드 상에 설치되고 상기 기판의 가장 자리를 척킹하는 척킹 핀, 척킹 핀을 상기 웨이퍼의 가장자리와 접촉하는 공정 위치 및 웨이퍼를 지지 핀 상에 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 스핀 헤드의 외측 방향으로 벌어지는 대기 위치로 변위시키는 구동 부재, 스핀 헤드의 내부에 설치되고, 척킹 핀의 위치를 감지하여 전기적 신호를 제공하는 센서; 및 센서로부터 전기적 신호를 제공받아 웨이퍼의 이상 장착을 체크하는 제어부를 포함한다.

대표청구항 ▼

스핀 헤드;상기 스핀 헤드 상에 설치되어 웨이퍼를 지지하는 지지 핀;상기 스핀 헤드 상에 설치되고, 상기 기판의 가장 자리를 척킹하는 척킹 핀;상기 척킹 핀을 상기 웨이퍼의 가장자리와 접촉하는 공정 위치 및 상기 웨이퍼를 상기 지지 핀 상에 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 상기 스핀 헤드의 외측 방향으로 벌어지는 대기 위치로 변위시키는 구동 부재;상기 스핀 헤드의 내부에 설치되고, 상기 척킹 핀의 위치를 감지하여 전기적 신호를 제공하는 센서; 및상기 센서로부터 전기적 신호를 제공받아 상기 웨이퍼의 이상 장착을 체크하는 제어부를 포함하

스핀 헤드;상기 스핀 헤드 상에 설치되어 웨이퍼를 지지하는 지지 핀;상기 스핀 헤드 상에 설치되고, 상기 기판의 가장 자리를 척킹하는 척킹 핀;상기 척킹 핀을 상기 웨이퍼의 가장자리와 접촉하는 공정 위치 및 상기 웨이퍼를 상기 지지 핀 상에 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 상기 스핀 헤드의 외측 방향으로 벌어지는 대기 위치로 변위시키는 구동 부재;상기 스핀 헤드의 내부에 설치되고, 상기 척킹 핀의 위치를 감지하여 전기적 신호를 제공하는 센서; 및상기 센서로부터 전기적 신호를 제공받아 상기 웨이퍼의 이상 장착을 체크하는 제어부를 포함하는 스핀 척.제 1 항에 있어서,상기 구동 부재는 상기 척킹 핀을 대기 위치 및 공정 위치로 변위시키기 위해, 상기 스핀 헤드의 반경 방향으로 상기 척킹 핀을 슬라이드 이동시키는 것을 특징으로 하는 스핀 척.제 2 항에 있어서,상기 센서는 상기 척킹 핀의 이동 위치를 감지하는 센서인 것을 특징으로 하는 스핀 척.제 1 항에 있어서,상기 척킹 핀은 회전 가능한 몸체와 상기 몸체의 회전중심에서 편심된 돌출부를 가지고, 상기 회전중심으로 회전하고,상기 척킹 핀의 돌출부는 상기 공정 위치에서 상기 웨이퍼의 가장자리와 접촉하는 것을 특징으로 하는 스핀 척.제 4 항에 있어서,상기 센서는 상기 척킹 핀의 회전 위치를 감지하는 센서인 것을 특징으로 하는 스핀 척.제 5 항에 있어서,상기 척킹 핀에는 상기 센서에 의해 감지되는 표지바가 제공되는 것을 특징으로 하는 스핀 척.스핀 헤드 상에 웨이퍼를 제공하고;구동 부재를 사용하여 척킹 핀을 척킹되는 공정 위치로 변위시키고;상기 스핀 헤드의 내부에 설치된 센서에 의해, 상기 척킹 핀의 위치를 감지하여 전기적 신호를 제공하고; 그리고제어부가 상기 전기적 신호를 제공받아 상기 웨이퍼의 이상 장착을 체크하는 것을 포함하는 웨이퍼 처리 방법.제 7 항에 있어서,상기 스핀 헤드를 가지는 스핀 척 주위에 배치된 용기 내에서,상기 웨이퍼의 이상 장착을 체크하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 방법.