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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0112700 (2007-11-06) |
공개번호 | 10-2009-0046503 (2009-05-11) |
등록번호 | 10-0978651-0000 (2010-08-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070112700 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-11-06) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
이종 접합영역에서 열팽창률 차이에 의한 크랙(crack) 발생을 방지하는 버퍼층을 구비한 저온동시소성 세라믹 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 저온동시소성 세라믹 기판의 제조 방법은, 캐리어 필름의 상부면에 제 1 세라믹층을 마련하는 단계; 상기 제 1 세라믹층의 상부면에 다수의 폴리머 패턴을 형성하는 단계; 상기 폴리머 패턴을 둘러싸는 모재층과 상기 모재층의 상부면에 형성된 제 2 세라믹층을 포함하는 적층 구조를 마련하는 단계; 상기 폴리머 패턴을 번 아웃(burn out)하여 상기 모재층을 다수의 홀을 포함
제 1 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제1 세라믹층; 상기 제 1 열팽창계수보다 높은 제 2 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제 2 세라믹층; 및 상기 제 1 세라믹층과 상기 제 2 세라믹층 사이에 개재되고, 상기 제 1 세라믹층 물질 또는 상기 제 2 세라믹층 물질을 포함하며, 다수의 내부가 비어있는 형상의 홀을 갖는 버퍼층을 포함하고,상기 제 1 세라믹층과 상기 제 2 세라믹층의 열팽창계수 차이로 인한 응력 발생을 상기 버퍼층의 상기 홀에 의해 방지하는 저온동시소성 세라믹 기판.
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