초록 ▼

본 발명은 저온 동시 소성 세라믹 기판에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시 형태는, 제1 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제1 유전체층과, 상기 제1 열팽창계수보다 큰 제2 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제2 유전체층 및 상기 제1 유전체층과 제2 유전체층 사이에 형성되며, 모재와, 상기 모재 내에 분산된 필러를 갖되, 상기 필러는 상기 모재를 이루는 물질의 열팽창계수보다 작은 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 버퍼층을 포함하는 저온 동시 소성 세라믹 기판을 제공한다.본 발명에 따르면, 이종 세라믹층 간

본 발명은 저온 동시 소성 세라믹 기판에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시 형태는, 제1 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제1 유전체층과, 상기 제1 열팽창계수보다 큰 제2 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제2 유전체층 및 상기 제1 유전체층과 제2 유전체층 사이에 형성되며, 모재와, 상기 모재 내에 분산된 필러를 갖되, 상기 필러는 상기 모재를 이루는 물질의 열팽창계수보다 작은 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 버퍼층을 포함하는 저온 동시 소성 세라믹 기판을 제공한다.본 발명에 따르면, 이종 세라믹층 간 계면에 버퍼층을 도입함으로써 소성 후 냉작 중의 열팽창계수 차이에 의한 크랙, 박리 등을 방지할 수 있는 저온 동시 소성 세라믹 기판을 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 저온 동시 소성 세라믹 기판의 신뢰성 향상을 기대할 수 있다.

대표청구항

제1 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제1 유전체층; 상기 제1 열팽창계수보다 큰 제2 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제2 유전체층; 및상기 제1 유전체층과 제2 유전체층 사이에 형성되며, 모재와, 상기 모재 내에 분산된 필러를 갖되, 상기 필러는 상기 모재를 이루는 물질의 열팽창계수보다 작은 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 버퍼층;을 포함하는 저온 동시 소성 세라믹 기판.

제1 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제1 유전체층; 상기 제1 열팽창계수보다 큰 제2 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제2 유전체층; 및상기 제1 유전체층과 제2 유전체층 사이에 형성되며, 모재와, 상기 모재 내에 분산된 필러를 갖되, 상기 필러는 상기 모재를 이루는 물질의 열팽창계수보다 작은 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 버퍼층;을 포함하는 저온 동시 소성 세라믹 기판.