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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0128531 (2007-12-11) |
공개번호 | 10-2009-0061504 (2009-06-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070128531 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-12-11) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 기판 상하부의 층간절연막 수가 서로 다른 양면 비대칭형 FCB 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 양면 비대칭형 FCB 기판은, 양면에 도금층 및 금속층이 형성되고, 중앙에 다수의 플러그가 형성된 기판; 상기 기판 상에 형성된 다수의 상부 층간절연막; 상기 다수의 상부 층간절연막 각각 상부에 형성된 다수의 상부 금속층; 상기 기판 하부에 상기 상부 층간절연막과 동일하지 않은 수로 형성된 다수의 하부 층간절연막; 상기 다수의 하부 층간절연막 각각 하부에 형성된 다수의 하부 금속층; 및 상기 기판을 중심으로
양면에 도금층 및 금속층이 형성되고, 중앙에 다수의 플러그가 형성된 기판;상기 기판 상에 형성된 다수의 상부 층간절연막;상기 다수의 상부 층간절연막 각각 상부에 형성된 다수의 상부 금속층;상기 기판 하부에 상기 상부 층간절연막과 동일하지 않은 수로 형성된 다수의 하부 층간절연막;상기 다수의 하부 층간절연막 각각 하부에 형성된 다수의 하부 금속층; 및상기 기판을 중심으로 최상부 및 최하부에 형성된 상부 및 하부 금속층 상에 형성된 솔더 레지스트;를 포함하는 양면 비대칭형 FCB 기판.제1항에 있어서,상기 다수의 상부 층간절연막의 수는
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