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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0137507 (2007-12-26) |
공개번호 | 10-2009-0069736 (2009-07-01) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070137507 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 대용량 진공 챔버 배기방법 및 대용량 진공 챔버 배기시스템에 관련된 것이다. 본 발명에 의한 대용량 진공챔버 배기시스템은 진공챔버와, 상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와, 상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와, 상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 대용량 진공 챔버 배기방법은, 상기 펌프로 상기 버퍼 탱크를 제1 진공상태로 배기하는 단계와, 상기 버퍼 탱크를 차단하여 상기 제1 진공상태를 유지하는 단계와, 상기 펌프시스템으로 상기 진공챔버를 제2
진공챔버와;상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와;상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와;상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 제1 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.제1항에 있어서,상기 부스터 펌프와 병렬로 상기 진공챔버에 연결된 제2 버퍼탱크를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.진공챔버와;상기 진공챔버에 연결된 펌프시스템과;상기 펌프시스템에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.제3항에 있어서,상기 버퍼탱크는 상기 진공챔버에 직
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