$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

스크류 펌프를 이용한 대용량 진공 챔버 배기방법 및배기시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01J-017/20
  • H01J-011/02
  • H01J-009/38
  • G02F-001/13
출원번호 10-2007-0137507 (2007-12-26)
공개번호 10-2009-0069736 (2009-07-01)
DOI http://doi.org/10.8080/1020070137507
발명자 / 주소
  • 주장헌 / 충남 천안시 청당동 청당 마을 벽산 불루밍아파트 ***동***호
출원인 / 주소
  • 에드워드 코리아 주식회사 / 충남 천안시 업성동 ***-*
대리인 / 주소
  • 특허법인다인 (Dyne Patent & Law Firm)
  • 서울 강남구 역삼동 ***-** 신명빌딩
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

본 발명은 대용량 진공 챔버 배기방법 및 대용량 진공 챔버 배기시스템에 관련된 것이다. 본 발명에 의한 대용량 진공챔버 배기시스템은 진공챔버와, 상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와, 상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와, 상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 대용량 진공 챔버 배기방법은, 상기 펌프로 상기 버퍼 탱크를 제1 진공상태로 배기하는 단계와, 상기 버퍼 탱크를 차단하여 상기 제1 진공상태를 유지하는 단계와, 상기 펌프시스템으로 상기 진공챔버를 제2

대표청구항

진공챔버와;상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와;상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와;상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 제1 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.제1항에 있어서,상기 부스터 펌프와 병렬로 상기 진공챔버에 연결된 제2 버퍼탱크를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.진공챔버와;상기 진공챔버에 연결된 펌프시스템과;상기 펌프시스템에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.제3항에 있어서,상기 버퍼탱크는 상기 진공챔버에 직

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로