초록 ▼

처리 장치(1) 내에서 웨이퍼들(W)을 핸들링하기 위한 시스템이 개시된다. 본 발명의 웨이퍼 핸들링 시스템은, 흡입 입구가 설치된 흡입 시스템(10); 제1 단부 및 제2 단부를 구비하며, 상기 제1 단부는 상기 흡입 시스템(10)의 흡입 입구에 연결된 흡입 파이프(7); 웨이퍼(W)들의 핸들링하기에 적합하고 흡입에 의해 상기 웨이퍼들(W)을 붙잡기에 적합하며, 상기 흡입 파이프(7)의 제2 단부에 연결된 툴(6); 및 상기 흡입 파이프 내의 압력을 조절하는 기기;를 포함한다. 상기 조절 기기는, 상기 흡입 파이프(7)에 연결되며,

처리 장치(1) 내에서 웨이퍼들(W)을 핸들링하기 위한 시스템이 개시된다. 본 발명의 웨이퍼 핸들링 시스템은, 흡입 입구가 설치된 흡입 시스템(10); 제1 단부 및 제2 단부를 구비하며, 상기 제1 단부는 상기 흡입 시스템(10)의 흡입 입구에 연결된 흡입 파이프(7); 웨이퍼(W)들의 핸들링하기에 적합하고 흡입에 의해 상기 웨이퍼들(W)을 붙잡기에 적합하며, 상기 흡입 파이프(7)의 제2 단부에 연결된 툴(6); 및 상기 흡입 파이프 내의 압력을 조절하는 기기;를 포함한다. 상기 조절 기기는, 상기 흡입 파이프(7)에 연결되며, 상기 흡입 파이프(7) 내의 압력이 미리 결정된 값 이하로 떨어질 때 개방될 수 있는 밸브(8);를 포함한다.

대표청구항 ▼

처리 장치(1) 내에서 웨이퍼들(W)을 핸들링하기 위한 시스템에 있어서,상기 시스템은,흡입 입구가 설치된 흡입 시스템(10);제1 단부 및 제2 단부를 구비하며, 상기 제1 단부는 상기 흡입 시스템(10)의 흡입 입구에 연결된 흡입 파이프(7);웨이퍼(W)들의 핸들링하기에 적합하고 흡입에 의해 상기 웨이퍼들(W)을 붙잡기에 적합하며, 상기 흡입 파이프(7)의 제2 단부에 연결된 툴(6); 및상기 흡입 파이프 내의 압력을 조절하는 기기;를 포함하며,상기 조절 기기는,상기 흡입 파이프(7)에 연결되며, 상기 흡입 파이프(7) 내의 압력

처리 장치(1) 내에서 웨이퍼들(W)을 핸들링하기 위한 시스템에 있어서,상기 시스템은,흡입 입구가 설치된 흡입 시스템(10);제1 단부 및 제2 단부를 구비하며, 상기 제1 단부는 상기 흡입 시스템(10)의 흡입 입구에 연결된 흡입 파이프(7);웨이퍼(W)들의 핸들링하기에 적합하고 흡입에 의해 상기 웨이퍼들(W)을 붙잡기에 적합하며, 상기 흡입 파이프(7)의 제2 단부에 연결된 툴(6); 및상기 흡입 파이프 내의 압력을 조절하는 기기;를 포함하며,상기 조절 기기는,상기 흡입 파이프(7)에 연결되며, 상기 흡입 파이프(7) 내의 압력이 미리 결정된 값 이하로 떨어질 때 개방될 수 있는 밸브(8);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제1항에 있어서,상기 밸브(8)는,통로(80);스프링(85); 및,상기 스프링(85)의 작용 하에 상기 통로(80)를 닫을 수 있는 이동성 부재(83, 84);를 포함하는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제2항에 있어서,상기 통로(80)는,제1측에서 상기 흡입 파이프(7)에 연결되는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제3항에 있어서,상기 통로(80)는,제2측에서 상기 처리 장치의 내부 챔버(3)에 연결되는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 밸브(8)는,측정될 수 있으며,상기 미리 결정된 값은,상기 밸브(8)의 상기 측정에 의존하는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제5항에 있어서,상기 시스템은,상기 스프링(85)에 작용하는 측정 나사(86);를 포함하며,상기 밸브(8)의 상기 측정은 상기 나사(86)의 회전에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 흡입 시스템(10)은,세팅되거나 조절될 수 있는 흡입을 갖는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제7항에 있어서,상기 흡입 시스템(10)은,불활성 가스의 흐름이 공급되는 배출 기기;를 포함하며,상기 불활성 가스의 흐름은 프로그램 가능한 유량 조절기에 이해 조절되는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 시스템은,상기 툴(6)이 설치되는 관절로 된 아암(51, 52, 53)을 갖는 로봇(5);을 포함하는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 흡입 파이프(7)는,기본적으로 연성 튜브(71)에 의해 구성되며,상기 연성 튜브(71)는,바람직하게는, 회전 가능한 조인트(72)를 통하여 상기 연성 튜브에 연결된 단단한 튜브(73)에 의해 추종되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 핸들링 시스템.제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 툴(6)은,웨이퍼(W)의 모서리와의 접촉을 위해 형상화되고 크기가 정해진 몸체(61);를 포함하여, 상기 몸체(61)와 상기 웨이퍼(W) 사이에 흡입 챔버(60)를 형성하며,상기 흡입 파이프(7)와 연통하며 상기 흡입 챔버(60)를 위치시키기 위한 수단(51)이 제공되는, 웨이퍼 핸들링 시스템.웨이퍼들(W)을 처리하기 위한 장치(1)에 있어서,상기 장치는,제1항 내지 제11항에 따른 웨이퍼 핸들링 시스템;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 처리 장치.제12항에 있어서,상기 장치는,전송 챔버(3);를 포함하며,상기 핸들링 시스템의 조절을 위한 상기 기기의 상기 밸브(8)는,상기 전송 챔버(3);에 연결되는, 웨이퍼 처리 장치.제12항 또는 제13항에 있어서,상기 장치는,전송 챔버(3)를 포함하며,상기 전송 챔버(3) 내에,상기 핸들링 시스템의 로봇(5)의 적어도 하나의 아암(51, 52, 53)이 수용되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 처리 장치.웨이퍼들(W)을 핸들링하기 위한 시스템에서 압력을 조절하기 위한 방법에 있어서,상기 시스템은,흡입 파이프(7)에 연결된 툴(6)을 포함하는 유형이며,상기 밸브(8)는,상기 흡입 파이프(7)에 연결되며, 상기 흡입 파이프(7) 내의 압력이 미리 결정된 값 이하로 떨어질 때 개방되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 핸들링 시스템의 압력 조절 방법.제15항에 있어서,상기 흡입 파이프(7)는,세팅되거나 조절될 수 있는 흡입을 갖는 흡입 시스템(10)에 연결되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 핸들링 시스템의 압력 조절 방법.제15항 또는 제16항에 있어서,웨이퍼(W)의 모서리와의 접촉을 위해 형상화되고 크기가 정해진 몸체(61)를 포함함으로써 상기 몸체(61)와 상기 웨이퍼(W) 사이에 흡입 챔버(60)를 형성하는 툴(61);을 사용하며,상기 흡입 파이프(7)와 연통하며 상기 흡입 챔버(60)를 위치시키기 위해 사용되는 수단(51);이 사용되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 핸들링 시스템의 압력 조절 방법.