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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2008-0014680 (2008-02-19) |
등록번호 | 10-0862684-0000 (2008-10-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080014680 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-02-19) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
반도체공정의 부산물 포집장치가 개시된다. 본 발명의 반도체 공정의 부산물 포집장치는, 유입구가 형성된 입구리드(10); 배출구가 형성된 외부하우징(20); 상기 유입구로 유입된 반응가스를 가열하는 가열수단(30); 상기 외부하우징내에 설치되며, 상기 가열된 반응가스를 포집하는 트랩플레이트가 배열된 트랩플레이트구조체(40); 상기 트랩플레이트를 냉각하는 냉각수단(50)을 포함하고, 상기 가열수단(30)은, 상기 입구리드(10)와 상기 외부하우징(20)의 사이에 위치하며 반응가스이동경로에 대해 수직방향으로 분리가능하도록 설치된 중간리드
반도체 공정의 부산물 포집장치에 있어서,유입구가 형성된 입구리드(10);배출구가 형성된 외부하우징(20);상기 유입구로 유입된 반응가스를 가열하는 판상형상의 가열수단으로서, 상기 반응가스가 정면으로 부딪히도록 상기 반응가스의 유입방향에 대해 수직으로 배치된 가열수단(30);상기 외부하우징내에 설치되며, 상기 가열된 반응가스를 포집하는 트랩플레이트가 배열된 트랩플레이트구조체(40);상기 트랩플레이트를 냉각하는 냉각수단(50); 및,상기 입구리드(10)와 상기 외부하우징(20)의 사이에 위치하며 상기 입구리드(10)와 상기 외부하우징(
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