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반도체공정의 부산물 포집장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
출원번호 10-2008-0014680 (2008-02-19)
등록번호 10-0862684-0000 (2008-10-02)
DOI http://doi.org/10.8080/1020080014680
발명자 / 주소
  • 강진 / 경기 수원시 권선구 곡반정동 ***-** ***호
  • 주형진 / 경기 화성시 정남면 덕절리 근형심포니 APT ***동 ***호
출원인 / 주소
  • (주)화인 / 경기 평택시 서탄면 수월암리 **-*
대리인 / 주소
  • 특허법인태동 (TAEDONG INTERNATIONAL PATENT & LAW FIRM)
  • 서울 구로구 구로동 **-* 대림오피스밸리 ***호(특허법인태동)
심사청구여부 있음 (2008-02-19)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

반도체공정의 부산물 포집장치가 개시된다. 본 발명의 반도체 공정의 부산물 포집장치는, 유입구가 형성된 입구리드(10); 배출구가 형성된 외부하우징(20); 상기 유입구로 유입된 반응가스를 가열하는 가열수단(30); 상기 외부하우징내에 설치되며, 상기 가열된 반응가스를 포집하는 트랩플레이트가 배열된 트랩플레이트구조체(40); 상기 트랩플레이트를 냉각하는 냉각수단(50)을 포함하고, 상기 가열수단(30)은, 상기 입구리드(10)와 상기 외부하우징(20)의 사이에 위치하며 반응가스이동경로에 대해 수직방향으로 분리가능하도록 설치된 중간리드

대표청구항

반도체 공정의 부산물 포집장치에 있어서,유입구가 형성된 입구리드(10);배출구가 형성된 외부하우징(20);상기 유입구로 유입된 반응가스를 가열하는 판상형상의 가열수단으로서, 상기 반응가스가 정면으로 부딪히도록 상기 반응가스의 유입방향에 대해 수직으로 배치된 가열수단(30);상기 외부하우징내에 설치되며, 상기 가열된 반응가스를 포집하는 트랩플레이트가 배열된 트랩플레이트구조체(40);상기 트랩플레이트를 냉각하는 냉각수단(50); 및,상기 입구리드(10)와 상기 외부하우징(20)의 사이에 위치하며 상기 입구리드(10)와 상기 외부하우징(

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 반도체장비의 부산물 급속 포집장치 | 나명수
  2. [한국] 반도체 설비의 부산물 포집장치 | 이앙구, 박광진

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  1. [한국] 트랩 장치 | 고경오, 심재업, 이상윤, 노명근, 오흥식
  2. [한국] 반도체 부산물 트랩 장치 | 김상돈, 장진영, 최병천, 이운기
  3. [한국] 트랩 장치 | 고경오, 심재업, 이상윤, 노명근, 오흥식
  4. [한국] 진공 증착 장비 | 박병민, 공두원, 권진환, 정용범, 조황신, 정성재
  5. [한국] 반도체 제조 공정 중 발생하는 부산물 포집장치 | 최낙진, 김태연, 김경태, 조재효
  6. [한국] 반도체 공정 부산물 포집장치 | 황규현, 최낙진, 김태연, 김경태, 조재효
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