최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2002-0047626 (2002-08-12) |
공개번호 | 10-2004-0014875 (2004-02-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020047626 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 가스에 포함된 부산물 트랩 장치 및 방법에 관한 것으로, 외부로부터 밀페된 트랩챔버(100)와; 상기 트랩챔버(100)의 일 측에 장착되어 반도체 제조 장치에서 반응된 가스를 상기 트랩챔버(100)로 주입하는 반응 가스 유입관(120)과; 상기 트랩챔버(100)의 타 측에 장착되어 냉각수에 의해 부산물이 걸러진 가스들을 진공펌프로 배출시키는 제 1 가스 배출관(130)과; 상기 트랩챔버(100)의 상측에 장착되어 상기 트랩챔버(100)의 내부를 냉각시키는 냉각수단과; 상기 트랩챔버(100)의 외주면에 장착된 전기히터(11
외부로부터 밀페된 트랩챔버(100)와; 상기 트랩챔버(100)의 일 측에 장착되어 반도체 제조 장치에서 반응된 가스를 상기 트랩챔버(100)로 주입하는 반응 가스 유입관(120)과; 상기 트랩챔버(100)의 타 측에 장착되어 냉각수에 의해 부산물이 걸러진 가스들을 진공펌프로 배출시키는 제 1 가스 배출관(130)과; 상기 트랩챔버(100)의 상측에 장착되어 상기 트랩챔버(100)의 내부를 냉각시키는 냉각수단과;상기 트랩챔버(100)의 외주면에 장착된 전기히터(110)와; 상기 트랩챔버(100)의 상측에 장착된 제 2 가스 배출관(1
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.