[특허]질화갈륨 단결정의 성장을 위한 버퍼층의 형성방법

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질화갈륨 단결정의 성장을 위한 버퍼층의 형성방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	C30B-025/00 C30B-029/38
출원번호	10-2008-0041345 (2008-05-02)
등록번호	10-0893360-0000 (2009-04-07)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020080041345
발명자 / 주소	한경섭 / 경기도 군포시 산본동 ** 백두한양아파트 -** 허정 / 경기도 수원시 권선구 세류동 - 김형준 / 서울특별시 성북구 정릉동 부광빌라 B-호
출원인 / 주소	(주)그랜드 텍 / 경기도 시흥시 정왕동 시화공단바 **
대리인 / 주소	특허법인 엘엔케이 (L&K PATENT FIRM) 서울특별시 강남구 역삼동 *- 신원빌딩 *층
심사청구여부	있음 (2008-05-02)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

본 발명은 수소화물 기상증착법(HVPE)에 의해 사파이어 기판 상에 질화갈륨(GaN) 단결정 막을 성장함에 있어, 상기 사파이어 기판 상에 3,5족 혼합가스인 HCL과 NH3를 반응시켜 나노 다공성(nano porous) 형태의 수직 질화갈륨 박막(Undoped GaN)을 버퍼층으로 형성하는 질화갈륨 단결정의 성장을 위한 버퍼층의 형성방법에 관한 것으로,상기와 같이 형성된 버퍼층은 사파이어 기판과 질화갈륨 사이의 경계면에 나노 다공성(nano porous) 형태의 버퍼층(Buffer layer)를 형성하여 질화갈륨과 사파이어 기판

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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