IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/공개특허
|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 |
10-2005-0048874
(2005-06-08)
|
공개번호 |
10-2006-0127645
(2006-12-13)
|
DOI |
http://doi.org/10.8080/1020050048874
|
발명자
/ 주소 |
- 양준영
/ 경기도 부천시 원미구 상*동 행복한마을 서해아파트 ****동****호
|
출원인 / 주소 |
- 엘지디스플레이 주식회사 / 서울 영등포구 여의도동 **번지
|
대리인 / 주소 |
-
심창섭;
김용인
(SHIM, Chang Sup)
-
서울 강남구 역삼*동 ***-** 여삼빌딩 **층(***특허법률사무소);
서울 강남구 역삼*동 ***-** 여삼빌딩 **층(***특허법률사무소)
|
심사진행상태 |
취하(심사미청구) |
법적상태 |
취하 |
초록
▼
본 발명은 액티브층 형성시 동시에 커패시터 전극을 형성하여 마스크를 1회 저감하고 화소전극을 액티브층 상에 직접형성하여 콘택홀 형성을 위한 마스크를 1회 더 저감함으로써 제조원가를 절감하고 공정 시간을 줄이고자 하는 CMOS TFT 어레이 기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 상기 CMOS-TFT 어레이 기판은 복수개의 화소영역을 구비하여 화상을 표시하는 액티브 영역과 상기 액티브 영역을 구동하는 구동회로 영역으로 구분되는 기판과, 상기 각 화소영역과 구동회로 영역에 각각 형성된 제 1 ,제 2 반도체층과, 상기 제 1 반도
본 발명은 액티브층 형성시 동시에 커패시터 전극을 형성하여 마스크를 1회 저감하고 화소전극을 액티브층 상에 직접형성하여 콘택홀 형성을 위한 마스크를 1회 더 저감함으로써 제조원가를 절감하고 공정 시간을 줄이고자 하는 CMOS TFT 어레이 기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 상기 CMOS-TFT 어레이 기판은 복수개의 화소영역을 구비하여 화상을 표시하는 액티브 영역과 상기 액티브 영역을 구동하는 구동회로 영역으로 구분되는 기판과, 상기 각 화소영역과 구동회로 영역에 각각 형성된 제 1 ,제 2 반도체층과, 상기 제 1 반도체층의 일부에 형성된 커패시터 하부전극과, 상기 커패시터 하부전극을 포함한 소정 영역에 형성된 화소전극과, 상기 화소전극을 포함한 전면에 형성된 게이트 절연막과, 상기 제 1 ,제 2 반도체층 상의 게이트 절연막 위에 형성된 제 1 ,제 2 게이트 전극 및 상기 커패시터 하부전극 상부에 형성된 커패시터 상부전극과, 상기 제 1 ,제 2 게이트 전극을 포함한 전면에 형성되는 보호막과, 상기 보호막 상에 상기 제 1 ,제 2 반도체층의 소스/드레인 영역에 콘택되는 제 1 ,제 2 소스/드레인 전극을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
대표청구항
▼
복수개의 화소영역을 구비하여 화상을 표시하는 액티브 영역과 상기 액티브 영역을 구동하는 구동회로 영역으로 구분되는 기판과, 상기 각 화소영역과 구동회로 영역에 각각 형성된 제 1 ,제 2 반도체층과, 상기 제 1 반도체층의 일부에 형성된 커패시터 하부전극과, 상기 커패시터 하부전극을 포함한 소정 영역에 형성된 화소전극과, 상기 화소전극을 포함한 전면에 형성된 게이트 절연막과, 상기 제 1 ,제 2 반도체층 상의 게이트 절연막 위에 형성된 제 1 ,제 2 게이트 전극 및 상기 커패시터 하부전극 상부에 형성된 커패시터 상부전극과, 상기
복수개의 화소영역을 구비하여 화상을 표시하는 액티브 영역과 상기 액티브 영역을 구동하는 구동회로 영역으로 구분되는 기판과, 상기 각 화소영역과 구동회로 영역에 각각 형성된 제 1 ,제 2 반도체층과, 상기 제 1 반도체층의 일부에 형성된 커패시터 하부전극과, 상기 커패시터 하부전극을 포함한 소정 영역에 형성된 화소전극과, 상기 화소전극을 포함한 전면에 형성된 게이트 절연막과, 상기 제 1 ,제 2 반도체층 상의 게이트 절연막 위에 형성된 제 1 ,제 2 게이트 전극 및 상기 커패시터 하부전극 상부에 형성된 커패시터 상부전극과, 상기 제 1 ,제 2 게이트 전극을 포함한 전면에 형성되는 보호막과, 상기 보호막 상에 상기 제 1 ,제 2 반도체층의 소스/드레인 영역에 콘택되는 제 1 ,제 2 소스/드레인 전극을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CMOS-TFT 어레이 기판.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.