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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0042216 (2008-05-07) |
공개번호 | 10-2009-0116339 (2009-11-11) |
등록번호 | 10-0978797-0000 (2010-08-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080042216 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-05-07) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
반도체 공정가스 배출용 히터 자켓이 개시된다. 본 발명은, 반도체 공정가스 배출용 배관을 히팅하는 히터 자켓으로서, 실리콘 재질의 환형의 부재로서 내부에 히팅 코일(13)이 균일하게 이격되어 설치된 실리콘 자켓(10); 및 상기 배관을 둘러싸도록 내부가 환형으로 형성된 알루미늄 부재로서 상기 실리콘 자켓과 상기 배관사이에 위치하는 알루미늄 블록(20)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 알루미늄블록에 의해 열전달의 균일도를 증가시켜 열전달효율이 증가된 히터자켓이 제공된다.
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