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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0075397 (2008-08-01) |
공개번호 | 10-2010-0019587 (2010-02-19) |
등록번호 | 10-0996227-0000 (2010-11-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080075397 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-08-01) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 SPM 나노탐침 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모체팁(mother tip)의 선단부에 나노니들을 부착한 형태의 SPM 나노탐침에 있어서, 상기 탐침은 입자빔 유도 증착(particle beam induced deposition)에 의해 나노니들의 선단부에 구형의 증착물이 형성되도록 한 구조를 포함하되, 상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 1.5 내지 8.5 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침에 관한 것으로, 본 발명의 SPM 나노탐침은 나노니들의 선단부에
모체팁(mother tip)의 선단부에 나노니들을 부착한 형태의 SPM 나노탐침에 있어서,상기 탐침은 입자빔 유도 증착(particle beam induced deposition)에 의해 나노니들의 선단부에 구형의 증착물이 형성되도록 한 구조를 포함하되, 상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 1.5 내지 8.5 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침.
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