초록 ▼

평판표시소자용 기판을 향하여 듀얼(dual) 분사 방식으로 건조용 공기를 분사하면서 기판을 간편하게 건조할 수 있는 에어나이프 장치를 개시한다.그러한 에어나이프 장치는, 내부에 공기유입구를 구비한 본체와, 상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부와, 상기 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부와, 복수 개의 토출용 블레이드로 구성되며 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하는 토출부 그리고, 상기 토출부 내측에서 상기 제1 챔버부의 건조용 공기

평판표시소자용 기판을 향하여 듀얼(dual) 분사 방식으로 건조용 공기를 분사하면서 기판을 간편하게 건조할 수 있는 에어나이프 장치를 개시한다.그러한 에어나이프 장치는, 내부에 공기유입구를 구비한 본체와, 상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부와, 상기 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부와, 복수 개의 토출용 블레이드로 구성되며 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하는 토출부 그리고, 상기 토출부 내측에서 상기 제1 챔버부의 건조용 공기를 어느 한 방향으로 분사할 수 있는 제1 토출팁을 갖도록 형성되는 제1 토출슬릿과, 상기 제2 챔버부의 건조용 공기를 상기 제1 토출슬릿과 서로 다른 방향으로 분사할 수 있는 제2 토출팁을 갖도록 상기 토출부 내측에 형성되는 제2 토출슬릿을 포함한다.

대표청구항 ▼

내부에 공기유입구를 구비한 본체;상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부;상기 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부;복수 개의 토출용 블레이드로 구성되며 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하는 토출부;상기 토출부 내측에서 상기 제1 챔버부의 건조용 공기를 어느 한 방향으로 분사할 수 있는 제1 토출팁을 갖도록 형성되는 제1 토출슬릿;상기 제2 챔버부의 건조용 공기를 상기 제1 토출슬릿과 서로 다른 방향으로 분사할 수 있는 제2 토출팁을 갖

내부에 공기유입구를 구비한 본체;상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부;상기 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부;복수 개의 토출용 블레이드로 구성되며 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하는 토출부;상기 토출부 내측에서 상기 제1 챔버부의 건조용 공기를 어느 한 방향으로 분사할 수 있는 제1 토출팁을 갖도록 형성되는 제1 토출슬릿;상기 제2 챔버부의 건조용 공기를 상기 제1 토출슬릿과 서로 다른 방향으로 분사할 수 있는 제2 토출팁을 갖도록 상기 토출부 내측에 형성되는 제2 토출슬릿;상기 토출부의 토출용 블레이드 위치를 변화시키면서 상기 제1 토출팁 또는 제2 토출팁의 팁 형태를 조절하는 팁 조절수단;을 포함하는 에어나이프 장치.