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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0063648 (2018-06-01) | |
공개번호 | 10-2019-0137451 (2019-12-11) | |
등록번호 | 10-2657774-0000 (2024-04-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180063648 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프가 일체로 구성된 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치에 관한 것이다. 본 발명은 기판의 상면을 향해 유체를 분사하고, 양측면의 하부영역에 각각 돌출 형성된 회전돌기와, 상기 양측면의 상부영역에 각각 돌출 형성된 각도조절돌기를 포함하는 상부 에어나이프; 상기 상부 에어나이프이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프를 지지하는 상부 지지유닛; 상기 상부 에아나이프에 대해 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 기판의 하면을 향해 유체를 분사하는 하부 에어나이프; 상기 하부 에어나이
기판의 상면을 향해 유체를 분사하고, 양측면의 하부영역에 각각 돌출 형성된 회전돌기와, 상기 양측면의 상부영역에 각각 돌출 형성된 각도조절돌기를 포함하는 상부 에어나이프;상기 상부 에어나이프이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프를 지지하는 상부 지지유닛;상기 상부 에어나이프에 대해 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 기판의 하면을 향해 유체를 분사하는 하부 에어나이프;상기 하부 에어나이프의 하부에 배치되어 상기 하부 에어나이프를 지지하는 하부 지지유닛;상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되되, 내
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