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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2008-0095904 (2008-09-30) |
| 공개번호 | 10-2010-0036603 (2010-04-08) |
| 등록번호 | 10-1024319-0000 (2011-03-16) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020080095904 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2008-09-30) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 크로스 빔의 자세를 미세하게 제어 및 보정할 수 있는 겐트리 장치 및 겐트리 장치의 틸트 보정 방법과 이를 이용한 기판처리장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 겐트리 장치는 평행하게 구비되는 한 쌍의 가이드 레일과; 상기 한 쌍의 가이드 레일에서 각각 활주되는 한 쌍의 구동블럭과; 양측이 각각 상기 한 쌍의 구동블럭 상에서 자유롭게 회전되도록 설치되어 상기 구동블럭과 함께 이송되고, 양측 중 어느 일측은 상기 구동블럭 상에서 자유롭게 활주되도록 구비되는 크로스 빔을 포함한다.
평행하게 구비되는 한 쌍의 가이드 레일과;상기 한 쌍의 가이드 레일에서 각각 활주되는 한 쌍의 구동블럭과;양측이 각각 상기 한 쌍의 구동블럭 상에서 자유롭게 회전되도록 설치되어 상기 구동블럭과 함께 이송되는 크로스 빔을 포함하고,상기 크로스 빔의 양측 중 어느 일측에는 상기 구동블럭 상에서 크로스 빔이 크로스 빔의 형성방향을 따라 자유롭게 활주되도록 하는 자유활주유닛이 설치되고,상기 자유활주유닛은 구동블럭의 상부에 설치되는 보조 레일과, 상기 보조 레일을 따라 자유롭게 활주되도록 상기 크로스 빔에 구비되는 가이드부를 포함하는 겐트리
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