초록 ▼

본 발명은 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)에 광을 투과 및 반사시키는 2개의 공정을 통해 획득되는 다중영상으로 외관불량을 검사하는 것을 개선하여 1개의 검사 공정으로 다중 영상을 획득할 수 있도록 한 구조의 듀얼 조명 비전검사 장치에 관한 것으로, 이를 위해 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 공간의 수직선상 하부에 설치되어 해당구간에서 이동하는 측정대상물의 표면에 광을 투과시키는 IR 조명부;와, 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 공간의 수직선상 상부에 설치되어 해당구간에서 이동하는 측

본 발명은 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)에 광을 투과 및 반사시키는 2개의 공정을 통해 획득되는 다중영상으로 외관불량을 검사하는 것을 개선하여 1개의 검사 공정으로 다중 영상을 획득할 수 있도록 한 구조의 듀얼 조명 비전검사 장치에 관한 것으로, 이를 위해 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 공간의 수직선상 하부에 설치되어 해당구간에서 이동하는 측정대상물의 표면에 광을 투과시키는 IR 조명부;와, 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 공간의 수직선상 상부에 설치되어 해당구간에서 이동하는 측정대상물의 표면에 광을 반사시키는 RGB 조명부;와, 상기 RGB 조명부의 상부에 설치되어 순차적으로 연속되게 RGB 조명부와 IR 조명부의 광을 수광하여 영상을 획득하는 영상획득부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위한 비전검사 장치에 있어서, 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 공간의 수직선상 하부에 설치되어 해당구간에서 이동하는 측정대상물의 표면에 광을 투과시키는 IR 조명부(10);컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 공간의 수직선상 상부에 설치되어 해당구간에서 이동하는 측정대상물의 표면에 광을 반사시키는 RGB 조명부(20);상기 RGB 조명부(20)의 상부에 설치되어 순차적으로 연속되게 RGB 조명부(20

다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위한 비전검사 장치에 있어서, 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 공간의 수직선상 하부에 설치되어 해당구간에서 이동하는 측정대상물의 표면에 광을 투과시키는 IR 조명부(10);컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 공간의 수직선상 상부에 설치되어 해당구간에서 이동하는 측정대상물의 표면에 광을 반사시키는 RGB 조명부(20);상기 RGB 조명부(20)의 상부에 설치되어 순차적으로 연속되게 RGB 조명부(20)와 IR 조명부(10)의 광을 수광하여 영상을 획득하는 영상획득부(30)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 듀얼 조명 비전 검사장치.