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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2008-0135230 (2008-12-29) |
| 공개번호 | 10-2010-0077315 (2010-07-08) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020080135230 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2008-12-29) |
| 심사진행상태 | 거절결정(일반) |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은 일정 공간 내의 수분에 의한 흡수 스펙트럼을 이용하여 상기 공간 내 이슬점을 실시간으로 연속적으로 정확히 측정함으로써 작업조건의 변경 등에 신속히 대처할 수 있게 하는 이슬점 측정 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명의 일 측면에 따른 이슬점 측정 장치는, 근적외선 영역에서 파장을 변화시키면서 측정대상 공간으로 레이저 빔을 조사하는 파장 변조 레이저; 상기 파장 변조 레이저에 의해 조사되어 상기 측정대상 공간을 통과해 나온 레이저 빔을 검출하는 광검지기; 상기 광검지기에 의해 검출된 레이저 빔 신호로부터 상기 측정대상 공간
근적외선 영역에서 파장을 변화시키면서 측정대상 공간으로 레이저 빔을 조사하는 파장 변조 레이저; 상기 파장 변조 레이저에 의해 조사되어 상기 측정대상 공간을 통과해 나온 레이저 빔을 검출하는 광검지기; 상기 광검지기에 의해 검출된 레이저 빔 신호로부터 상기 측정대상 공간 내부의 수분에 의한 흡수 스펙트럼을 생성하고, 다변량 분석을 통해 상기 흡수 스펙트럼을 분석하여 상기 측정대상 공간 내의 절대 습도를 측정하는 스펙트럼 생성 및 분석 장치; 및상기 스펙트럼 생성 및 분석 장치에 의해 측정된 측정공간 대상 내의 절대습도를 이슬점으로
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