초록 ▼

본 발명에 따른 정밀기계가공장치는, 피드-스크루 기구 및 액추에이터가 휠을 회전시키는 회전장치를 지지하는 제2마운트 상에 탑재되고, 초정밀 연삭 단계를 통해 러프 연삭 단계에서 상기 제2마운트의 이동 정도를 적절하게 조정하면서 연삭이 수행되도록 구성된다. 연삭목표체를 회전시키는 회전장치와 제1마운트 사이에는 자세제어장치가 개재된다. 상기 연삭목표체의 두께와 편평도는 광프로브에 의해 측정되고, 그 측정 결과들이 컴퓨터로 전송된다. 그 후, 피드백 지령이 자세제어장치로 전송되어, 목표값과 측정값간의 차이를 줄임으로써 자세 제어가 수행되

본 발명에 따른 정밀기계가공장치는, 피드-스크루 기구 및 액추에이터가 휠을 회전시키는 회전장치를 지지하는 제2마운트 상에 탑재되고, 초정밀 연삭 단계를 통해 러프 연삭 단계에서 상기 제2마운트의 이동 정도를 적절하게 조정하면서 연삭이 수행되도록 구성된다. 연삭목표체를 회전시키는 회전장치와 제1마운트 사이에는 자세제어장치가 개재된다. 상기 연삭목표체의 두께와 편평도는 광프로브에 의해 측정되고, 그 측정 결과들이 컴퓨터로 전송된다. 그 후, 피드백 지령이 자세제어장치로 전송되어, 목표값과 측정값간의 차이를 줄임으로써 자세 제어가 수행되게 된다.

대표청구항 ▼

정밀기계가공장치(1)에 있어서,연삭목표체(a)를 회전시키는 제1회전장치(6a)와 상기 제1회전장치(6a)를 지지하는 제1마운트(2); 휠(b)을 회전시키는 제2회전장치(6b)와 상기 제2회전장치(6b)를 지지하는 제2마운트(3); 상기 제1마운트(2)와 상기 제2마운트(3)를 서로 더욱 근접하게 또는 서로 더욱 멀어지게 선택적으로 이동시키기 위한 이동수단; 상기 제1 및 제2마운트(2, 3)가 상기 이동수단에 의해 이동되는 정도를 제어하기 위한 제어수단(94); 상기 연삭목표체(a)의 두께와 편평도를 측정하기 위한 측정수단(91,

정밀기계가공장치(1)에 있어서,연삭목표체(a)를 회전시키는 제1회전장치(6a)와 상기 제1회전장치(6a)를 지지하는 제1마운트(2); 휠(b)을 회전시키는 제2회전장치(6b)와 상기 제2회전장치(6b)를 지지하는 제2마운트(3); 상기 제1마운트(2)와 상기 제2마운트(3)를 서로 더욱 근접하게 또는 서로 더욱 멀어지게 선택적으로 이동시키기 위한 이동수단; 상기 제1 및 제2마운트(2, 3)가 상기 이동수단에 의해 이동되는 정도를 제어하기 위한 제어수단(94); 상기 연삭목표체(a)의 두께와 편평도를 측정하기 위한 측정수단(91, 92); 및 상기 제1회전장치(6a)와 상기 제1마운트(2) 사이에 또는 상기 제2회전장치(6b)와 상기 제2마운트(3) 사이에 개재되는 상기 제1 또는 제2회전장치(6a, 6b)의 자세(posture)를 제어하기 위한 자세제어장치(7)를 포함하며,상기 이동수단은 피드-스크루 기구(4)로 형성된 제1이동부와 압력 제어에 기초한 액추에이터(5)로 형성된 제2이동부를 포함하고, 상기 이동수단은 요구 상황에 따라 상기 제1이동부와 상기 제2이동부를 선택적으로 이용하여 상기 제1마운트(2)와 상기 제2마운트(3)를 서로에 대해 이동시키며,상기 제어수단(94)은, 상기 측정수단(91, 92)에 의해 획득한 측정 결과들을 토대로 상기 연삭목표체(a)의 소정의 두께와 편평도를 얻기 위하여 상기 제1 및 제2마운트(2, 3)가 이동되는 정도 및/또는 상기 자세제어장치(7)의 자세를 조정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 정밀기계가공장치.