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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2008-7021639 (2008-09-04) | |
공개번호 | 10-2008-0114715 (2008-12-31) | |
등록번호 | 10-1494682-0000 (2015-02-12) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2006-00101329 (2006-04-03) | |
국제출원번호 | PCT/JP2007/057396 (2007-04-02) | |
국제공개번호 | WO 2007/116856 (2007-10-18) | |
번역문제출일자 | 2008-09-04 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020087021639 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-03-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 두께 정밀도가 균일하고, 표면 평활성이 뛰어나며, 블로킹등이 없는 표면 활성이 뛰어난 반도체 웨이퍼의 표면 보호 테이프 및 표면 보호 테이프용 기판 필름을 제공한다.구체적으로는, 폴리에틸렌계 수지를 함유하는 층을 적어도 1층이상 가지며, JIS B0601에 의거해 측정한 기판 필름의 양면의 표면 거칠기 Ra가 0.8 μm 이하이며, 적어도 한면의 표면 거칠기 Ra가 0.05 μm 이상이며, 기판 필름의 두께의 최대치와 최소치의 차이가 4 μm 이하인 반도체 웨이퍼의 표면 보호 테이프용 기판 필름 및 상기 기판 필름에 점착
기판 필름은 분지형 저밀도 폴리에틸렌(LDPE)/분지형 저밀도 폴리에틸렌(LDPE)/분지형 저밀도 폴리에틸렌(LDPE)의 3층 필름, 에틸렌-메타크릴산 메틸(EMMA)/분지형 저밀도 폴리에틸렌(LDPE)/에틸렌-메타크릴산 메틸(EMMA)의 3층 필름 및 에틸렌-초산비닐 공중합체(EVA)/분지형 저밀도 폴리에틸렌(LDPE)/에틸렌-초산비닐 공중합체(EVA)의 3층 필름 으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 필름이고, 하기와 같은 요건:(1) JIS B0601에 의거해 측정한, 기판 필름의 양면의 표면 거칠기 Ra가 0.8 μ
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