초록 ▼

본 발명은 황산염 이온을 남기지 않는 포토레지스트 제거용 세정액에 관한 것이다. 더 상세하게는, 조성물 총 중량을 기준으로 무기알칼리 3 ~ 6 wt%, 인산염 1 ~ 5 wt%, 히드라진 하이드레이트 1 ~ 10 wt%, 킬레이트 분산제 1 ~ 5 wt%, 불소계면활성제 1 ~ 3 wt% 및 탈이온수 80 ~ 90 wt%를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 제거용 세정액에 관한 것이다. 본 발명에 따른 세정액은 황산염을 포함하고 있지 않으므로, particle성 이물, 성장성 이물 또는 환형얼룩의 발생없이 포토레지스트를 제

본 발명은 황산염 이온을 남기지 않는 포토레지스트 제거용 세정액에 관한 것이다. 더 상세하게는, 조성물 총 중량을 기준으로 무기알칼리 3 ~ 6 wt%, 인산염 1 ~ 5 wt%, 히드라진 하이드레이트 1 ~ 10 wt%, 킬레이트 분산제 1 ~ 5 wt%, 불소계면활성제 1 ~ 3 wt% 및 탈이온수 80 ~ 90 wt%를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 제거용 세정액에 관한 것이다. 본 발명에 따른 세정액은 황산염을 포함하고 있지 않으므로, particle성 이물, 성장성 이물 또는 환형얼룩의 발생없이 포토레지스트를 제거할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항

조성물 총 중량을 기준으로 무기알칼리 3 ~ 6 wt%, 인산염 1 ~ 5 wt%, 히드라진 하이드레이트 1 ~ 10 wt%, 킬레이트 분산제 1 ~ 5 wt%, 불소계면활성제 1 ~ 3 wt% 및 탈이온수 80 ~ 90 wt%를 포함하는 세정액에 있어서,상기 세정액의 pH는 7 내지 9 범위 이내인 것을 특징으로 하는 포토레지스트 제거용 세정액.

조성물 총 중량을 기준으로 무기알칼리 3 ~ 6 wt%, 인산염 1 ~ 5 wt%, 히드라진 하이드레이트 1 ~ 10 wt%, 킬레이트 분산제 1 ~ 5 wt%, 불소계면활성제 1 ~ 3 wt% 및 탈이온수 80 ~ 90 wt%를 포함하는 세정액에 있어서,상기 세정액의 pH는 7 내지 9 범위 이내인 것을 특징으로 하는 포토레지스트 제거용 세정액.