[특허]탄소 나노 튜브를 이용한 반도체 소자 및 그 제조방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-029/78 H01L-021/336 B82B-003/00 B82Y-010/00
출원번호	10-2009-0026548 (2009-03-27)
공개번호	10-2010-0108078 (2010-10-06)
등록번호	10-1064423-0000 (2011-09-05)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020090026548
발명자 / 주소	김현재 / 서울특별시 종로구 경운동 SK허브 A-* 허건의 / 경기도 남양주시 평내동 중흥S클래스 동 호 이근우 / 경기도 용인시 수지구 상현동 만현마을 두산위브 동 호 김경민 / 부산광역시 부산진구 초읍동 번지 초읍 대우아파트 동 **호 정태훈 / 서울 서대문구 신촌동 연세대학교 공과대학 제공학관 ***호
출원인 / 주소	연세대학교 산학협력단 / 서울 서대문구 신촌동 *** 연세대학교
대리인 / 주소	정태훈; 배성호; 오용수
심사청구여부	있음 (2009-03-27)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

본 발명은 탄소 나노 튜브를 이용한 반도체 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판과, 게이트 전극과, 게이트 절연층과, 소오스 및 드레인 전극과, 상기 소오스 및 드레인 전극과 접속하여 형성된 활성층을 포함하되, 상기 활성층은 수산화이온 함유 물질에 의해 표면 처리된 탄소 나노 튜브로 이루어지도록 함으로서, 탄소 나노 튜브에 대한 반도체 성질을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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