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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0083380 (2009-09-04) |
등록번호 | 10-0993476-0000 (2010-11-04) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090083380 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-09-04) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
히터(21)를 내장한 메인챔버(60) 안에 다양한 크기의 액정 용기(88)를 담을 수 있는 공정챔버(70)를 착탈이 편리하게 배치함과 동시에 적절한 진공도와 가열 온도를 유지함으로써, 일반적인 진공탈포기에서는 제거가 어려운 미세 기포를 효과적으로 제거할 수 있을 뿐만아니라 안정적인 액정의 품질을 제공할 수 있는 액정 탈포기(10)가 개시된다. 공정챔버(70)는 일정한 공간(S)을 한정하는 메인챔버(60)에 착탈이 가능하도록 배치된다. 메인챔버(60)의 일면에는 외부에 배치된 진공 펌프(30)와 연결되는 진공포트(23)가 형성되고,
액정을 가열 및 감압하여 액정에서 기포를 분리 및 제거하기 위한 액정 탈포기(10)에 있어서, 일정한 공간(S)을 한정하는 메인챔버(60) 및 상기 메인챔버(60) 내에 별도의 고정장치없이 올려놓고 사용하는 공정챔버(70)를 포함하며,상기 메인챔버(60)의 일면에는 상기 메인챔버(60)의 외부에 배치된 진공 펌프(30)와 연결되는 진공포트(23)가 형성되고, 상기 메인챔버(60)의 일면에는 상기 메인챔버(20)의 외부에 배치된 에어유닛(40)과 연결되는 N2퍼지를 위한 포트(26)가 형성되며, 상기 메인챔버(60)의 배면에는 히터(
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