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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0087340 (2009-09-16) |
공개번호 | 10-2011-0029593 (2011-03-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090087340 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-09-16) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
기판 상의 포토레지스트를 제거하기 위한 약액 공급 장치는 혼합 탱크, 노즐, 제1 공급 라인 및 제2 공급 라인을 포함한다. 혼합 탱크는 과산화수소와 탈이온수를 혼합하여 제1 혼합 약액을 형성한다. 노즐은 제1 혼합 약액과 황산을 혼합하여 기판으로 분사한다. 제1 공급 라인은 혼합 탱크와 노즐을 연결하며, 제1 혼합 약액을 노즐로 공급한다. 제2 공급 라인은 노즐과 연결되며, 노즐로 황산을 공급한다.
과산화수소와 탈이온수를 혼합하여 제1 혼합 약액을 형성하는 혼합 탱크;상기 제1 혼합 약액과 황산을 혼합하여 기판으로 분사하는 노즐;상기 혼합 탱크와 상기 노즐을 연결하며, 상기 제1 혼합 약액을 상기 노즐로 공급하는 제1 공급 라인; 및상기 노즐과 연결되며, 상기 노즐로 상기 황산을 공급하는 제2 공급 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
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