초록 ▼

본 발명은 복수 개의 약액들을 공급받아서 혼합하여 처리조로 혼합액을 공급하는 약액 공급 장치 및 그의 온도 조절 방법, 그리고 이를 구비하는 반도체 제조 설비에 관한 것이다. 약액 공급 장치는 약액들의 혼합 시, 열이 발생되는 예를 들어, 세정, 식각 공정에 사용되는 디에스피(DSP : Diluted Sulfate Peroxide) 약액의 온도를 조절하기 위하여, 혼합 탱크의 순환 라인에 상호 병렬로 배치되는 열교환기와 냉각기를 구비한다. 디에스피 약액은 복수 개의 약액들 예를 들어, 황산, 과산화수소수 및, 불산이 포함된 초순수가

본 발명은 복수 개의 약액들을 공급받아서 혼합하여 처리조로 혼합액을 공급하는 약액 공급 장치 및 그의 온도 조절 방법, 그리고 이를 구비하는 반도체 제조 설비에 관한 것이다. 약액 공급 장치는 약액들의 혼합 시, 열이 발생되는 예를 들어, 세정, 식각 공정에 사용되는 디에스피(DSP : Diluted Sulfate Peroxide) 약액의 온도를 조절하기 위하여, 혼합 탱크의 순환 라인에 상호 병렬로 배치되는 열교환기와 냉각기를 구비한다. 디에스피 약액은 복수 개의 약액들 예를 들어, 황산, 과산화수소수 및, 불산이 포함된 초순수가 혼합된다. 혼합액은 복수 개의 약액들이 혼합될 때, 발열되어 온도 조절에 따른 소요 시간이 증가된다. 따라서 본 발명의 약액 공급 장치는 저온의 디에스피 약액을 사용하기 위하여, 냉각기와 열교환기를 동시에 제어하여 혼합액의 온도를 조절함으로써, 온도 보정 시간을 단축시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

약액 공급 장치에 있어서:복수 개의 약액들을 공급받아서 상기 약액들의 혼합액을 처리조로 공급하는 적어도 하나의 혼합 탱크와;상기 혼합 탱크의 상기 혼합액을 순환시키는 순환 라인과;상기 순환 라인에 설치되어 상기 혼합액을 가열 및 냉각시키는 열교환기와;상기 순환 라인에 분기되어 상기 열교환기와 병렬로 배치되고, 상기 혼합액을 냉각시키는 냉각기 및;상기 혼합액을 상기 처리조로 공급하도록 상기 열교환기 및 상기 냉각기 중 적어도 하나를 선택적으로 제어하여 상기 혼합액의 온도를 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치

약액 공급 장치에 있어서:복수 개의 약액들을 공급받아서 상기 약액들의 혼합액을 처리조로 공급하는 적어도 하나의 혼합 탱크와;상기 혼합 탱크의 상기 혼합액을 순환시키는 순환 라인과;상기 순환 라인에 설치되어 상기 혼합액을 가열 및 냉각시키는 열교환기와;상기 순환 라인에 분기되어 상기 열교환기와 병렬로 배치되고, 상기 혼합액을 냉각시키는 냉각기 및;상기 혼합액을 상기 처리조로 공급하도록 상기 열교환기 및 상기 냉각기 중 적어도 하나를 선택적으로 제어하여 상기 혼합액의 온도를 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.