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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0095279 (2009-10-07) |
등록번호 | 10-1016612-0000 (2011-02-15) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090095279 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-10-07) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 정전척에 관한 것으로서, 정전척 몸체의 재질을 개선하여 온도 변화에 따른 정전척 몸체의 팽창 및 수축으로 인해 발생하는 정전 절연막의 균열을 효과적으로 방지할 수 있는 정전척에 관한 것이다. 종래에는 정전척 몸체와 세라믹 막인 정전 절연막 간의 열팽창 및 수축의 차이가 과다하여 정전척의 온도 제어 및 급격한 온도 변화시에 정전 절연막이 쉽게 균열되거나 손상되는 문제점이 있었는 바, 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 정전척 몸체에 세라믹 막인 정전 절연막이 형성된 정전척에 있어서, 상기 정전척 몸체가 금속에 세라믹 또는 탄
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